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MEMS 传感器精度检测

原创
发布时间:2025-12-04 15:21:17
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检测项目

1.静态精度测试:零点漂移、灵敏度误差、非线性度、重复性、迟滞、线性度误差、阈值、死区、分辨力、阈值稳定性、偏置误差、增益误差、温漂系数、长期漂移、短期漂移。

2.动态性能测试:频率响应、阶跃响应、上升时间、过冲量、稳定时间、带宽、相位延迟、群延迟、共振频率、阻尼比、动态范围、瞬态响应、稳态误差、加速度灵敏度、速度灵敏度。

3.环境适应性测试:温度循环、湿热测试、低温存储、高温存储、温度冲击、低气压测试、盐雾测试、振动测试、冲击测试、正弦振动、随机振动、机械冲击、防尘防水、防腐蚀性能、气候老化。

4.温度影响测试:温度系数、热漂移、热滞后、温度灵敏度、温度稳定性、高温特性、低温特性、温度梯度影响、热传导性能、热膨胀系数、低温启动、高温失效、温度补偿效果。

5.振动影响测试:振动灵敏度、共振点分析、振动漂移、振动噪声、加速度影响、速度影响、位移影响、振动频率响应、振动相位、振动幅度稳定性、振动耐久性、随机振动响应。

6.长期稳定性测试:老化测试、寿命测试、漂移率、失效分析、可靠性指标、平均无故障时间、加速老化、循环耐久性、存储稳定性、性能衰减。

7.重复性与再现性测试:重复性误差、再现性误差、测量一致性、批次差异、操作者影响、设备变异、环境波动、时间依赖性、数据分散性、统计控制。

8.迟滞与非线性测试:迟滞误差、非线性误差、回差、死区宽度、饱和特性、拐点检测、线性化效果、曲线拟合误差、多项式系数、分段线性度。

9.零点与灵敏度测试:零点稳定性、灵敏度稳定性、偏置电压、增益电压、校准系数、标定误差、温度补偿零点、压力补偿灵敏度、磁场影响零点、湿度影响灵敏度。

10.噪声与分辨率测试:噪声电平、信噪比、分辨率极限、最小可检测信号、动态噪声、静态噪声、频率噪声、相位噪声、量化噪声、随机噪声、系统噪声。

11.交叉轴灵敏度测试:交叉轴误差、轴间耦合、正交误差、旋转影响、倾斜影响、磁场干扰、电场干扰、机械耦合、热耦合、振动耦合。

12.带宽与响应时间测试:带宽限制、响应时间、延迟时间、建立时间、过冲时间、衰减时间、频率截止点、相位裕度、增益裕度、动态带宽。

13.可靠性测试:故障率、失效模式、应力测试、耐久性测试、环境应力筛选、加速寿命测试、可靠性增长、维修性测试、可用性指标。

14.电磁兼容性测试:辐射发射、传导发射、辐射抗扰度、传导抗扰度、静电放电、电快速瞬变脉冲群、浪涌冲击、电压暂降、短时中断、谐波电流。

15.机械性能测试:抗冲击强度、抗振动强度、硬度测试、疲劳寿命、蠕变性能、尺寸稳定性、密封性能、连接可靠性、外壳强度、防护等级。

检测范围

加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、磁力计、湿度传感器、温度传感器、麦克风、光学传感器、惯性测量单元、微流量传感器、生物传感器、化学传感器、振动传感器、倾斜传感器、接近传感器、力传感器、扭矩传感器、位移传感器、速度传感器。

检测方法/标准

国际标准:

ISO 16063-1、ISO 16063-21、IEC 60747-14、IEC 61000-4-2、IEC 61000-4-3、ISO 5725-1、IEC 61000-4-4、IEC 61000-4-5

国家标准:

GB/T 18459、GB/T 7665、GB/T 17626.2、GB/T 2423.1、GB/T 2423.2、GB/T 2423.10、GB/T 2423-5、GB/T 2423-6、GB/T 2423-22、GB/T 2423-34

检测设备

1.高精度数据采集系统:用于采集传感器输出信号,测量电压、电流、频率等参数;高分辨率模数转换器,多通道同步采集,实时数据处理与分析。

2.标准振动台:提供精确振动输入,用于动态响应测试;频率范围宽,加速度控制精确,可编程波形。

3.温度控制箱:模拟不同温度环境,进行温度影响测试;温度范围从零下100摄氏度至零上300摄氏度,湿度控制可选。

4.压力校准器:用于压力传感器精度验证;高精度压力源,数字显示,自动控制。

5.角速度标准器:校准陀螺仪输出,测量角速度误差;旋转平台稳定,角度分辨率高。

6.磁场发生器:产生可控磁场,测试磁力计性能;磁场强度可调,均匀性好。

7.湿度发生器:提供稳定湿度环境,用于湿度传感器测试;湿度范围从百分之五至百分之九十八,温度补偿。

8.噪声分析仪:测量传感器输出噪声,分析信噪比;频谱分析功能,高灵敏度探头。

9.频谱分析仪:用于频率响应和噪声测试;宽频带覆盖,快速傅里叶变换。

10.三轴转台:模拟多轴运动,测试惯性传感器性能;三自由度旋转,位置控制精确。

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.

合作客户(部分)

1、自创办以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;

2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;

3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;

4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。

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