压电薄膜检测

中析研究所旗下CMA实验室进行的压电薄膜检测，可测样品：铅锆钛酸铋(PZT)薄膜、聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜、聚合物-陶瓷复合薄膜等，会为您提供热膨胀系数、表面粗糙度、电磁辐射等检测服务，并出具严谨、合规、标准的第三方检测报告。标准参考:IEC 62047-37-2020 半导体器件–微机电器件–第37部分：用于传感器的MEMS压电薄膜的环境测试方法–版本1.0、SJ 20717A-2018 氧化锌压电薄膜规范等。

检测范围

1、无机压电薄膜：

铅锆钛酸铋(PZT)薄膜：PZT是一种常用的压电材料，具有良好的压电性能和稳定性，可应用于传感器、驱动器等领域。

铝氧化锌(AZO)薄膜：AZO是一种透明导电薄膜，具有压电性能，广泛应用于触摸屏、显示器等领域。

2、有机压电薄膜：

聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜：PVDF是一种常见的有机压电材料，具有良好的压电性能和柔韧性，可应用于传感器、能量收集器等领域。

聚三氟氯乙烯(P(VDF-TrFE))薄膜：P(VDF-TrFE)是一种具有良好压电性能和热稳定性的有机压电材料，常用于压电发生器、声波传感器等领域。

3、复合压电薄膜：

聚合物-陶瓷复合薄膜：将有机聚合物和无机陶瓷相结合，形成具有优异压电性能和柔韧性的复合薄膜，常用于振动传感器、能量收集器等领域。

检测项目

厚度、电阻、介电常数、热膨胀系数、机械性能、表面粗糙度、压电振动频率、应力-应变关系、电流-电压特性、电磁辐射、声发射、温度特性等。

技术相关、费用详情或其他测试项目请咨询工程师!

参考周期:常规测试7-15工作日,加急测试5个工作日.

检测仪器(部分)：

电容法测试仪、压电材料测试仪、震动测试仪、频谱分析仪、阻抗分析仪、电流测量仪等。

检测方法(部分)：

压电效应测试：通过施加外力或压力，测量压电薄膜产生的电荷或电压响应。可以使用压电测试仪或压电材料特性测试系统进行测试。

频率响应测试：测量压电薄膜在不同频率下的电荷或电压响应，以测试其频率特性和频率响应范围。可以使用频率响应测试仪或示波器进行测试。

灵敏度测试：测量压电薄膜对外力或压力变化的敏感程度，以测试其灵敏度和检测范围。可以使用灵敏度测试仪或标准校准设备进行测试。

稳定性测试：测试压电薄膜的稳定性和长期使用性能。可以进行温度循环测试、湿热循环测试等来模拟实际使用环境。

动态特性测试：测试压电薄膜的动态响应特性，如响应时间、频率响应等。可以使用动态特性测试仪器或震动平台进行测试。

结构分析：通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等技术，对压电薄膜的结构进行分析，以了解其微观形貌和结构特征。

参考标准

IEC 62047-37-2020 半导体器件–微机电器件–第37部分：用于传感器的MEMS压电薄膜的环境测试方法–版本1.0

SJ 20717A-2018 氧化锌压电薄膜规范

SJ 21102-2016 氮化铝压电薄膜通用规范

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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