JJG349-2014检定规程

检测项目

1.示值误差：全量程范围内的最大允许误差，分段示值误差。

2.示值变动性：在同一测量点多次测量的示值变化量。

3.回程误差：测头正反行程经过同一位置时的示值之差。

4.稳定度：仪器在预热后规定时间内零位或示值的漂移量。

5.各量程切换误差：不同测量档位切换时产生的附加误差。

6.测力：测量头作用于被测工件表面的力值大小及变化。

7.测杆径向受力引起的示值变化：侧向力对轴向测量结果的影响。

8.零位平衡误差：电气零位与机械零位的一致性。

9.细分误差：仪器最小分辨力范围内的示值准确性。

10.响应特性：仪器对输入信号变化的跟随与反应能力。

检测范围

标准量块、步距规、光滑环规、光滑塞规、轴承内外圈、滚道零件、精密轴类零件、薄片工件厚度、活塞销直径、阀芯尺寸、精密模具型腔、半导体硅片厚度、光学平行平板、陶瓷基片、金属膜片、精密齿轮齿廓、导轨直线度、精密螺纹中径、叶片型面、精密小孔内径

检测设备

1.激光干涉仪：作为长度基准，用于高精度校准电感测微仪的示值误差与重复性；其波长稳定性是保证校准精度的核心。

2.标准量块组：提供已知的标准尺寸，用于检定仪器的分段示值误差与线性；需恒温以保证尺寸稳定。

3.步距规：提供一系列标准台阶尺寸，用于快速检定仪器在全量程内多个点的示值误差。

4.微动台：产生精确、微小的位移，用于检定仪器的分辨力、回程误差及动态响应特性。

5.测力计：测量电感测微仪测头的接触力大小，确保测力符合规程要求，避免过大测力引起变形。

6.刚性表架与平台：为检定过程提供稳固的安装基础，有效隔离外界振动对高精度测量的干扰。

7.温度传感器与记录仪：实时监测并记录检定环境的温度变化，确保环境条件满足规程规定的温度要求。

8.零位调整器：用于精确设定和调整电感测微仪的机械零位与电气零位。

9.径向力施加装置：可对测杆施加可控的侧向力，用于检定径向受力对示值的影响。

10.数据采集与处理系统：自动采集测量数据，并计算示值误差、重复性等关键参数，提升检定效率与可靠性。

相关检测的发展前景与展望

随着高端制造向纳米级精度迈进，电感测微仪的检测技术正向更高精度、智能化与在线化发展。未来，校准过程将更广泛地集成激光干涉与光栅测量等绝对基准，实现自动化的数据采集与误差补偿。多传感器融合技术，如将形貌、粗糙度测量与微位移结合，可提供更全面的微观几何参数评价。针对新材料与复杂微观结构的测量需求，开发低测力、高频率响应的新型测头与校准方法将成为重点。同时，远程校准与量值溯源体系的数字化建设，将进一步提升几何量微观计量领域的整体效率与一致性水平。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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