半导体指标残留检测

检测项目

1.金属元素残留检测：碱金属、碱土金属、过渡金属、重金属、稀土金属等。

2.阴离子残留检测：氟离子、氯离子、硫酸根、硝酸根、磷酸根等。

3.挥发性有机物残留检测：溶剂残留、单体残留、分解产物等。

4.半挥发性有机物残留检测：增塑剂、抗氧化剂、高分子添加剂等。

5.颗粒物污染检测：颗粒数量、颗粒尺寸分布、颗粒化学成分分析。

6.表面有机碳污染检测：总有机碳含量、特定有机污染物鉴定。

7.硅片表面金属污染检测：表面吸附或沉积的痕量金属元素。

8.光刻胶及相关化学品纯度检测：金属杂质、颗粒、有机杂质含量。

9.工艺气体杂质检测：氧气、水分、碳氢化合物、颗粒等痕量杂质。

10.蚀刻及清洗液杂质检测：金属离子浓度、颗粒污染、有机残留物。

11.化学机械抛光液残留检测：磨料颗粒、添加剂、金属污染物。

12.晶圆背表面污染检测：金属、有机物及颗粒污染物。

13.封装材料杂质析出检测：离子性杂质、有机挥发物。

14.超纯水水质检测：溶解性气体、微粒、总有机碳、细菌内毒素。

15.洁净室环境监测：空气中化学污染物、悬浮粒子浓度。

检测范围

硅抛光片、外延片、光刻胶、显影液、蚀刻液、清洗液、化学机械抛光液、去离子水、工艺气体、高纯化学试剂、溅射靶材、电子特气、晶圆传送盒、封装树脂、引线框架、焊球、键合丝、陶瓷基板、粘合剂、洁净室沉降板

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于超痕量金属元素的全元素分析，具备极高的灵敏度与宽动态范围。

2.电感耦合等离子体发射光谱仪：用于测定样品中多种金属及部分非金属元素的含量，分析速度快。

3.气相色谱-质谱联用仪：用于复杂基质中挥发性及半挥发性有机物的分离、定性与定量分析。

4.离子色谱仪：专门用于分离和检测水溶液中阴离子、阳离子及低分子量有机酸。

5.总有机碳分析仪：用于快速测定水样或溶剂中总有机碳的含量，测试有机污染水平。

6.激光颗粒计数器：用于实时监测液体或气体中颗粒的数量与尺寸分布。

7.飞行时间二次离子质谱仪：用于材料表面及深度方向的元素、分子组成成像与深度剖析，分辨率极高。

8.原子力显微镜：用于观测样品表面的三维形貌，并可对表面颗粒进行定位和尺寸测量。

9.热脱附-气相色谱-质谱联用系统：用于检测固体材料表面吸附或内部残留的挥发性有机物。

10.X射线光电子能谱仪：用于分析材料表面元素的化学态、分子结构及组成，深度仅限表面数纳米。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.