设备纯度测试

检测项目

1.材质元素分析：主体结构材料主量元素含量、痕量杂质元素浓度、重金属析出量、碱金属及碱土金属含量。

2.表面污染物检测：颗粒物数量与尺寸分布、非挥发性残留物、总有机碳含量、无机离子残留量、微生物负载。

3.气体与水分纯度：内腔体露点、氧气含量、氮气纯度、惰性气体杂质谱、挥发性有机化合物浓度。

4.表面特性测试：表面粗糙度、表面能及接触角、表面化学态分析、钝化层完整性、涂层或镀层均匀性。

3.结构密封性测试：氦气质谱检漏率、压力衰减密封性、焊缝及连接处完整性、真空保持能力。

6.出气与脱附性能：材料放气率、水汽脱附性能、有机污染物脱附曲线、高温烘烤后出气成分。

7.耐腐蚀与化学兼容性：对工艺化学品耐受性、电化学腐蚀倾向、晶间腐蚀测试、应力腐蚀开裂测试。

8.热性能与热稳定性：高温下杂质释放、热循环后性能稳定性、局部过热点检测、热应力下变形量。

9.机械性能关联测试：材料硬度与纯度关联性、内表面磨损颗粒产生测试、密封件兼容性与溶出物。

10.清洁工艺验证：清洗后颗粒残留、清洗剂残留量、干燥度、最终冲洗水电阻率。

11.运行模拟测试：模拟工艺条件下杂质引入监测、介质流经后纯度变化、长期运行稳定性测试。

检测范围

高纯气体输送管路与阀门、化学机械抛光设备腔体、晶圆传输机器人手臂、液态化学品分配系统、真空反应腔室及内部件、超高纯水制备与循环系统、特种气体气柜与面板、药品生产用生物反应器、光伏镀膜设备载板、熔石英坩埚、分子束外延设备源炉、离子注入机 beamline 部件、液晶面板清洗机槽体、燃料电池双极板、靶材绑定后组件、精密注塑成型模具

检测设备

1.电感耦合等离子体质谱仪：用于精确测定设备材质及表面痕量、超痕量金属杂质元素的浓度；具备极高的检测灵敏度与多元素同时分析能力。

2.辉光放电质谱仪：用于对金属结构材料进行深度剖析，逐层分析从表面至基体的元素分布，特别适用于检测涂层或污染层的成分。

3.气相色谱-质谱联用仪：用于鉴定与定量设备表面及内部空间残留的挥发性与半挥发性有机污染物；可进行复杂混合物分离与定性。

4.总有机碳分析仪：通过氧化法测定设备清洗后液体（如超纯水）冲洗液中的有机碳总含量，快速测试有机污染物残留水平。

5.激光粒度与颗粒计数器：对设备内表面或清洗液中悬浮的颗粒进行在线或离线计数与尺寸分布测量；采用光散射原理，灵敏度高。

6.俄歇电子能谱仪：用于分析设备表面极薄层（几个原子层）的元素组成与化学态，特别适合测试表面钝化效果与微量污染。

7.氦质谱检漏仪：利用氦气作为示踪气体，对设备腔体、管道、焊缝等进行高灵敏度密封性测试，可定位微小漏点。

8.动态顶空进样器：与气相色谱仪联用，通过加热和吹扫将设备材料或部件内部的挥发性物质提取出来进行分析，用于测试出气性能。

9.表面轮廓仪：通过接触式或光学非接触式探针，精确测量设备内表面的微观粗糙度，测试其是否符合高洁净度表面要求。

10.微量水分析仪：基于电解或晶体振荡原理，精确测量流经设备的气体中或密闭腔体内的微量水分含量，检测限可达百万分之一级。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.