检测项目
密封性能检测：
- 氦质谱泄漏率：泄漏阈值≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（参照ASTM E499）
- 压力衰减测试：压降≤0.1%每小时（ISO 1608-1）
- 真空度测量：工作真空≤1×10⁻⁶ mbar（GB/T 3163）
力学性能检测： - 拉伸强度测试：屈服强度≥350MPa（ASTM E8/E8M）
- 冲击韧性：夏比V型缺口冲击功≥27J（GB/T 229）
- 硬度检测：维氏硬度HV 150-200（ISO 6507）
材料腐蚀检测： - 点蚀抗力：点蚀电位≥0.25V（ASTM G48）
- 应力腐蚀开裂：临界应力强度因子KISCC≥30 MPa·m⁰.⁵（GB/T 15970）
- 渗透率测试：氢气渗透率≤1×10⁻¹⁰ cm³·cm/cm²·s·cmHg（ISO 15105）
无损检测： - 超声波探伤：缺陷尺寸检出≤0.5mm（ISO 17640）
- 射线检测：焊缝气孔率≤1%（GB/T 3323）
- 磁粉检验：裂纹深度≤0.1mm（ASTM E709）
真空兼容性测试： - 出气率测试：总出气量≤1×10⁻⁸ Torr·L/cm²·s（ASTM E595）
- 材料脱气分析：挥发物含量≤100ppm（ISO 14644）
- 表面粗糙度：Ra≤0.8μm（GB/T 1031）
热性能检测： - 热膨胀系数：α≤10⁻⁶/°C（ASTM E228）
- 热导率：≥15 W/m·K（GB/T 10297）
- 高温蠕变：蠕变速率≤10⁻⁶/h（ISO 204）
电性能检测： - 绝缘电阻：≥10¹² Ω（IEC 60243）
- 介电强度：击穿电压≥20kV/mm（GB/T 1408）
- 表面电阻：≤10⁹ Ω（ASTM D257）
清洁度分析： - 颗粒污染：≥0.5μm颗粒计数≤100个/cm²（ISO 14644）
- 有机物残留：碳氢化合物浓度≤50μg/m²（ASTM E1217）
- 离子污染：钠离子≤0.1μg/cm²（SEMI F21）
几何尺寸检测： - 内径公差：±0.05mm（ISO 2768）
- 壁厚均匀性：偏差≤5%（GB/T 9711）
- 直线度误差：≤0.1mm/m（ASTM E177）
连接件测试： - 法兰密封力：扭矩≥50N·m（ISO 1608-2）
- 焊缝强度：剪切强度≥250MPa（GB/T 2653）
- 接头气密性：泄漏率≤1×10⁻¹⁰ mbar·L/s（ASTM F2391）
检测范围
1. 不锈钢真空管线： 涵盖316L、304等牌号，重点检测点蚀抗力和焊缝密封性。
2. 铝合金真空管道： 如6082-T6合金，侧重热膨胀系数和氧化层完整性。
3. 铜合金真空系统： 包括无氧铜材料，检测重点为热导率和表面清洁度。
4. 钛合金真空元件： 如Gr5钛合金，关注应力腐蚀开裂和生物兼容性。
5. 聚合物真空软管： 如PTFE或PVDF材料，检测渗透率和老化性能。
6. 陶瓷真空组件： 氧化铝或石英制品，侧重脆性断裂和热冲击抗力。
7. 复合材料真空管道： 碳纤维增强塑料，检测层间剪切强度和出气率。
8. 玻璃真空阀件： 硼硅酸盐玻璃，重点测试热稳定性及真空密封。
9. 橡胶密封件： 氟橡胶或EPDM制品，测试压缩永久变形和气体渗透。
10. 金属涂层管线： 如镀镍钢材，检测涂层附着力和均匀性。
检测方法
国际标准：
- ASTM E499-11 质谱仪检漏法（采用氦示踪气体定量泄漏）
- ISO 1608-1:2020 真空泵性能测试（规定压力衰减测量程序）
- ASTM E595-07 材料出气速率测试（使用热脱附质谱分析）
- ISO 204:2018 金属蠕变试验（恒定载荷高温测试）
- SEMI F21-1103 洁净室表面粒子计数（激光散射技术）
国家标准： - GB/T 3163-2007 真空技术术语（统一泄漏率定义和单位）
- GB/T 228.1-2021 金属材料拉伸试验（应变速率控制差异，GB要求0.00025/s vs ASTM 0.005/s）
- GB/T 4334-2020 不锈钢腐蚀试验（点蚀方法比ISO多电解侵蚀步骤）
- GB/T 10297-2015 非金属固体热导率测试（稳态法vs ASTM瞬态热丝法）
- GB/T 1408.1-2016 绝缘材料电气强度（电压爬升速率限制）
检测设备
1. 氦质谱检漏仪： LACO LT560型（灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s，响应时间<1s）
2. 万能材料试验机： ZWICK Z100型（载荷范围0.01-100kN，精度±0.5%）
3. 真空计： INFICON BPG400型（测量范围10⁻⁵至1000 mbar，精度±1%）
4. 扫描电镜： JEOL JSM-7900F型（分辨率0.8nm，加速电压0.5-30kV）
5. 热分析仪： NETZSCH STA 449F3型（温度范围RT-1600°C，TG-DSC同步）
6. 激光粒度仪： MALVERN Mastersizer 3000型（粒径范围0.01-3500μm，精度±0.5%）
7. 超声波探伤仪： OLYMPUS EPOCH 650型（频率0.5-15MHz，缺陷分辨率0.1mm）
8. 光谱分析仪： SPJianCeRO MAXx型（元素检测限0.001%，波长范围140-800nm）
9. 气体渗透测试仪： VAC-VBS型（渗透率范围10⁻¹⁰至10⁻⁴ cm³/cm²·s·cmHg）
10. 表面粗糙度仪： MITUTOYO SJ-410型（测量范围0-800μm Ra，分辨率0.001μm）
11. 高温蠕变试验机： SHIMADZU AG-X型（温度上限1200°C，载荷精度±0.1%）
12. 电性能测试仪： KEITHLEY 6517B型（电阻测量范围10⁻⁴至10¹⁷ Ω，电压0-1000V）
13. 洁净室粒子计数器： CLIMET CI-350型（粒径通道0.3-25μm，流量28.3L/min）
14. 热导率测定仪： HOT DISK TPS 2500S型（测量范围0.005-500 W/m·K，精度±3%）
15. 金相显微镜： LEICA DM2700M型（放大倍数50-1000X，数码相机分辨率5MP）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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