检测项目
尺寸精度检测：
- 直径偏差：公差±0.3mm（参照SEMIMF1726）
- 长度公差：偏差±1.0mm
- 圆度误差：≤0.1%
电学性能检测：
- 电阻率测量：范围0.001-300Ω·cm，精度±2%
- 载流子浓度：10¹⁴-10²⁰/cm³（参照ASTMF42）
- 霍尔迁移率：≥1000cm²/V·s
结晶质量检测：
- 位错密度：≤500/cm²（GB/T12964）
- 晶格缺陷密度：微缺陷≤10⁵/cm³
- 单晶取向偏差：<±0.5°
表面质量检测：
- 表面粗糙度：Ra≤0.05μm
- 划痕数量：≤5条/100mm²
- 表面污染：颗粒尺寸≤0.5μm
杂质分析：
- 氧含量：≤10ppma（检测限0.1ppma）
- 碳含量：≤1.0ppma
- 金属杂质：铁≤0.1ppb
机械性能检测：
- 弯曲强度：≥100MPa
- 硬度：HV≥800
- 断裂韧性：KIC≥0.8MPa·m¹/²
热性能检测：
- 热导率：≥100W/m·K
- 热膨胀系数：2.6×10⁻⁶/K（20-100°C）
光学性能检测：
- 透光率：≥90%@1000nm
- 反射率：≤5%@633nm
化学纯度检测：
- 硼磷杂质：硼≤0.01ppma，磷≤0.02ppma
- 氢含量：≤1.0ppma
缺陷检测：
- 宏观缺陷：尺寸≤1mm
- 微缺陷密度：≤10³/cm²
检测范围
1.直拉法单晶硅棒：侧重电阻率均匀性和氧含量控制，确保直径100-300mm范围内偏差≤±0.5mm。
2.区熔法单晶硅棒：重点检测位错密度和碳含量，适用于高纯度要求，缺陷密度≤200/cm²。
3.N型掺杂单晶硅棒：核心检测载流子浓度和迁移率，磷掺杂浓度偏差±5%。
4.P型掺杂单晶硅棒：硼掺杂浓度检测，重点杂质铁含量≤0.05ppb。
5.太阳能级单晶硅棒：聚焦光电转换效率相关参数，如表面粗糙度Ra≤0.1μm和透光率≥85%.
6.半导体级单晶硅棒：高纯度检测，金属杂质总量≤1ppb，电阻率精度±1%.
7.大直径单晶硅棒（>200mm）：尺寸稳定性检测，圆度误差≤0.05%.
8.小直径单晶硅棒（<100mm）：表面质量检测，划痕数量≤3条/100mm².
9.重掺杂单晶硅棒：杂质浓度检测，硼或磷含量≥10¹⁸/cm³.
10.轻掺杂单晶硅棒：电阻率精度检测，范围0.1-10Ω·cm偏差±2%.
检测方法
国际标准：
- SEMIMF1726-1109四探针电阻率测试方法
- SEMIMF1391-0707氧含量傅里叶变换红外测试
- ASTMF42-22载流子浓度霍尔效应测试
- ISO14707:2020表面污染扫描电子显微镜分析
国家标准：
- GB/T1551-2009半导体单晶电阻率测试方法（四探针法）
- GB/T12964-2018硅单晶缺陷密度X射线衍射检测
- GB/T24578-2019硅单晶氧含量红外吸收测试
- GB/T14140-2009硅单晶机械性能弯曲试验（方法差异：国际标准使用动态载荷，国标采用静态三点弯曲）
检测设备
1.四探针电阻率测试仪：SSM-200型（测量范围0.001-1000Ω·cm，精度±0.5%）
2.傅里叶变换红外光谱仪：NicoletiS50型（波长范围4000-400cm⁻¹，氧含量检测限0.1ppma）
3.X射线衍射仪：BrukerD8型（角度分辨率0.001°，晶格缺陷检测下限100/cm²）
4.扫描电子显微镜：HitachiSU8000型（分辨率1nm，表面污染分析）
5.激光测径仪：KeyenceLS-7000型（精度±0.5μm，直径测量范围1-500mm）
6.表面粗糙度测试仪：MitutoyoSJ-410型（Ra范围0.01-40μm，精度±2%）
7.霍尔效应测试系统：LakeShore8400型（磁场范围0-2T，载流子浓度精度±3%）
8.氧含量分析仪：HoribaEMGA-920型（检测限0.1ppma，气体纯度99.999%）
9.碳含量分析仪：LECOCS844型（检测限0.1ppm，燃烧法）
10.缺陷检测系统：KLASurfscan型（缺陷尺寸检测下限0.12μm，扫描速度100mm/s）
11.万能材料试验机：Instron5967型（载荷范围10N-50kN，弯曲强度测试精度±1%）
12.热分析仪：NetzschSTA449型（温度范围RT-1650°C，热导率测量误差±2%）
13.分光光度计：PerkinElmerLambda950型（波长范围175-3300nm，透光率精度±0.5%）
14.电感耦合等离子体质谱仪：Agilent7900型（金属杂质检测限0.01ppb）
15.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon型（分辨率原子级，表面粗糙度三维成像
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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荣誉资质
研究院地址
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