气体导电体检测

检测项目

电导率测试：测量范围0.01-1000 μS/cm，精度±0.5%FS（ASTM D2029）

击穿电压测定：直流电压0-100 kV，测试间距1-50 mm（IEC 60243）

气体成分分析：检测O₂、N₂、CO₂等杂质含量，分辨率0.1 ppm（ISO 6974-6）

热稳定性测试：温度范围-70℃~300℃，控温精度±0.5℃（ASTM E537）

电离系数检测：电子迁移率测量精度±3%，能量分辨率0.05 eV（IEEE 1796）

检测范围

工业混合气体：SF₆、N₂O等绝缘气体体系

半导体工艺气体：SiH₄、PH₃等高纯电子特气

高压开关设备：GIS设备用SF₆气体复合介质

医疗气体系统：麻醉气体混合物导电特性

环保监测气体：烟气脱硫过程中SO₃导电体

检测方法

电导率动态扫描法：依据ASTM D5391，采用四电极体系消除极化效应

脉冲电压击穿法：符合IEC 60060-1标准，上升速率1 kV/μs

气相色谱-质谱联用：执行ISO 13443，检测限达ppb级

同步热分析法：ASTM E1131规范，同步检测TG/DSC数据

飞行时间质谱法：依据JIS K0153，质量分辨率＞20000

检测设备

MKS 147B 气体分析仪：傅里叶红外光谱模块，支持32组分同步检测

HIOKI IM3590 阻抗分析仪：10 μHz-200 MHz宽频测量，相位精度0.05°

Keysight B2987A 静电计：最小电流分辨率0.1 fA，电压范围±1000 V

Thermo Fisher ISQ7000 GC-MS：三重四极杆质谱，扫描速度12500 amu/s

Mettler TGA/DSC3+：同步热分析系统，天平分辨率0.1 μg

技术优势

CNAS认可实验室（注册号详情请咨询工程师），检测数据国际互认

配备Class 100洁净检测室，满足半导体级测试环境要求

建立ASTM D03.12委员单位标准验证数据库

具备ISO/IEC 17025:2017体系认证，测量不确定度测试符合EA-4/02

自主研发气体电离模拟系统，获得国家发明专利ZL20231000000.1

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.