气体纯化装置检测

检测项目

净化效率验证：测定装置对目标气体（如O₂、H₂O、CO₂等）的去除率，精度要求达99.9%-99.9999%（按气体等级划分）

压力耐受测试：测试装置在0.1-15MPa压力范围内的密封性与结构完整性

材料兼容性分析：检测接触介质部件在高温（-196℃至350℃）及腐蚀性气体环境下的抗侵蚀性能

气体残留物检测

流量稳定性验证：校准装置在5-200L/min流量区间的输出波动率（±1%以内）

检测范围

高纯气体系统：半导体制造用氦气/氮气纯化装置

医用气体设备：麻醉气体回收纯化模块

工业催化装置：氢气纯化用钯膜组件与分子筛吸附塔

低温工程设备：液氮/液氩纯化系统的冷阱组件

环境监测仪器：气体色谱仪前级净化装置

检测方法

ASTM E29：采用标准物质比对法验证气体纯度（精度±0.5%）

ISO 8573-1：通过激光粒子计数器测定颗粒物浓度等级

ASTM G31：实施加速腐蚀试验测试材料耐久性（湿热循环300次）

SEMI C3.45：半导体行业专用气体杂质检测规程

ISO 6145-7：动态稀释法标定痕量污染物检测限（低至0.1ppb）

检测设备

Agilent 8890气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，实现多组分气体同步分析

Thermo Fisher ISQ 7000质谱仪：检测限达ppt级的气体痕量成分识别系统

Mensor CPC8000压力控制器：0.025级精度的全自动压力循环测试平台

Definer 220气体流量校准器：支持层流与音速喷嘴双模式流量计量

FEI Quanta 650 SEM-EDS联用系统：材料表面微观形貌与元素成分分析

技术优势

持有CNAS（注册号详情请咨询工程师）和CMA（编号详情请咨询工程师）认证资质，检测报告获ILAC-MRA国际互认

配置Class 100洁净实验室环境，温湿度控制精度达±0.5℃/±2%RH

检测方法通过ISO/IEC 17025:2017体系认证，数据不确定度测试符合GUM规范

拥有自主开发的气体渗透率测试装置（专利号ZL2023XXXXXX），可模拟极端工况条件

技术团队包含5名ASQ认证质量工程师，年均完成200+项气体设备失效分析案例

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.