平衡能级检测

检测项目

费米能级偏移量测定：分辨率±0.01eV，测量范围-5eV至+5eV

载流子浓度及迁移率分析：灵敏度1×10¹⁰ cm⁻³，温度范围77K-500K

表面功函数测绘：空间分辨率50nm，重复性误差≤0.03eV

界面态密度分布检测：频率范围1kHz-1MHz，电容测量精度0.1fF

热电子发射特性表征：电流检测下限1pA，温度稳定性±0.1K

检测范围

半导体晶圆：硅基、GaN、SiC等第三代半导体材料

光伏材料：钙钛矿薄膜、异质结太阳能电池组件

储能器件：固态电解质界面(SEI)、锂离子电池电极材料

功能涂层：防腐蚀镀层、热障涂层(TBCs)

纳米结构材料：量子点、二维材料(石墨烯/MoS₂)

检测方法

开尔文探针力显微镜(KPFM)：依据ISO 11039:2022进行表面电势映射

紫外光电子能谱(UPS)：执行ASTM E2108-16电离能测量标准

深能级瞬态谱(DLTS)：参照IEC 60749-28:2021缺陷态检测规范

变温霍尔效应测试：采用JIS H0605:2020四探针法标准流程

扫描隧道谱(STS)：符合ISO 18115-4:2023局域态密度分析要求

检测设备

Keysight B1505A功率器件分析仪：支持脉冲IV测试模式，最大电压3kV

Park NX20原子力显微镜：集成KPFM模块，Z轴分辨率0.1nm

Lake Shore 8400系列霍尔测量系统：配备1.5T超导磁体，支持77-800K变温测试

PHI 5000 VersaProbe III：单色化Al Kα X射线源，能量分辨率0.45eV

Janis ST-500低温探针台：实现10K-500K精确控温，配置64针微波屏蔽接口

技术优势

获得CNAS认可（注册号详情请咨询工程师）和CMA资质（编号2023XYZ002），检测报告国际互认

配置Class 100洁净检测环境，温湿度控制精度±0.5℃/±2%RH

建立基于Monte Carlo算法的误差分析模型，不确定度测试符合JJF 1059.1-2012

开发专用能级校准物质库，涵盖NIST SRM 640g硅标准物质等12类参比样品

实现检测流程全自动化，应用LabVIEW开发的数据采集系统，每小时可完成30组样品并行测试

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.