平面束检测

检测项目

束流均匀性检测：测量平面束流密度分布，偏差范围≤±5%（ASTM E3070）

能量密度分布检测：建立能量梯度模型，分辨率达0.1J/cm²（ISO 13694）

束斑稳定性检测：连续工作模式下束斑漂移量＜50μm（IEC 62878-2）

热影响区分析：红外热成像记录温度梯度，精度±1.5℃（EN 13126）

表面改性深度检测：金相显微测量改性层厚度，误差±0.2μm（GB/T 11354）

检测范围

金属薄膜材料：厚度0.1-5μm的溅射镀层、蒸镀膜层

半导体晶圆：直径≤300mm的硅基/化合物半导体基板

高分子聚合物：PET、PI等工程塑料表面处理层

光学涂层：AR减反射膜、IR截止滤光膜等复合膜系

医用植入材料：钛合金/钴铬钼表面生物活性涂层

检测方法

扫描式束斑分析：基于ISO 11146-1标准，采用移动狭缝法测量束流参数

热敏纸记录法：按ASTM E3070规范，通过碳化痕迹分析能量分布

CCD成像系统：依据ISO 13694要求，实现微米级空间分辨率检测

同步辐射检测：参照ISO 21348进行全光谱能量校准

纳米压痕测试：执行ISO 14577标准测试表面改性层力学性能

检测设备

束流分析仪：Keysight N6781A，配备0.01mm精密移动平台

热像仪系统：FLIR X8580sc，支持640×512像素红外成像

三维表面轮廓仪：Bruker ContourGT-K，垂直分辨率0.1nm

能谱分析仪：Thermo Scientific NORAN System 7

真空环境舱：Leybold LAB-10，工作压力≤5×10⁻³Pa

技术优势

CNAS认可实验室（注册号详情请咨询工程师）具备CMA资质认定

配置Class 1000洁净检测环境，温控精度±0.5℃

实现多参数同步检测，数据采集速率达1MS/s

溯源体系覆盖NIST标准物质（SRM 2036）

检测报告获ILAC-MRA国际互认协议承认

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.