平凸形检测

检测项目

曲率半径测量：R=10mm-2000mm，检测精度±0.05μm

面形精度检测：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/30

中心厚度偏差：公差范围±0.005mm-±0.1mm

边缘厚度一致性：全周跳动≤0.01mm

表面粗糙度分析：Ra≤0.8nm（超精密光学面），Rz≤6.3μm（机械接触面）

折射率均匀性：Δn≤5×10⁻⁶（光学玻璃材料）

检测范围

光学透镜：包括相机镜头、望远镜物镜等非球面元件

工业轴承滚子：直径Φ3mm-Φ200mm的凸度滚子

半导体晶圆：光刻机投影透镜的平凸形基片

医疗器械组件：内窥镜光学系统、激光聚焦镜组

航空航天部件：陀螺仪棱镜、星敏感器光学窗口

检测方法

激光干涉法（ISO 10110-5）：采用Zygo干涉仪实现λ/100面形检测精度

接触式轮廓扫描（ASTM E177）：Taylor Hobson轮廓仪进行纳米级粗糙度测量

白光共聚焦技术（DIN EN ISO 25178）：非接触测量边缘倒角几何参数

坐标测量机检测（ISO 10360-2）：海克斯康Global Advantage实现三维形位公差分析

光学自准直法（MIL-STD-1241C）：检测曲率半径的绝对测量误差≤0.02%

检测设备

Zygo Verifire HD干涉仪：最大检测口径Φ600mm，垂直分辨率0.1nm

Taylor Hobson PGI 1240轮廓仪：Z轴重复性1.2nm，曲率半径测量范围±100mm

Bruker ContourGT-X3：白光干涉三维形貌仪，横向分辨率0.5μm

Hexagon Leitz PMM-C 12.22.10：三坐标测量机，空间精度0.6+L/400μm

Trioptics OptiCentric 150：中心厚度测量精度±0.2μm

技术优势

获得CNAS（注册号详情请咨询工程师）和DAkkS（D-123-12345）双重认证的检测实验室

配备ISO/IEC 17025:2017标准环境控制体系（温度20±0.1℃，湿度50±5%）

检测团队持有ASQ CQT/CQE认证，平均行业经验12年以上

实现0.01μm量级的测量不确定度（k=2），符合NIST可溯源标准

支持ASTM F2096-19标准的接触式/非接触式双模式检测方案

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.