汽相化学沉积检测

检测项目

膜层厚度：测量范围100nm-10μm，精度±2%

成分分析：元素含量检测（误差≤0.5at%）

表面粗糙度：Ra值范围0.5-50nm（3σ精度）

附着力强度：划痕法测试（临界载荷1-50N）

缺陷密度：单位面积微孔/裂纹计数（分辨率0.1μm）

检测范围

半导体材料：Si/SiC晶圆外延层

金属涂层：Al/TiN/PVD防护膜

陶瓷材料：Al₂O₃/TiO₂功能薄膜

光学薄膜：AR/IR滤光镀膜

聚合物基材：柔性显示导电涂层

检测方法

ASTM F1394：辉光放电光谱法测定膜厚

ISO 14703：TEM截面分析法

GB/T 16535：X射线荧光成分检测

ISO 26423：纳米压痕法附着力测试

GB/T 17722：表面能谱分析标准

检测设备

Hitachi SU5000场发射扫描电镜：表面形貌分析（5nm分辨率）

Bruker D8 ADVANCE X射线衍射仪：晶体结构表征（0.0001°精度）

KLA Tencor P-7表面轮廓仪：三维形貌重建（0.01nm垂向分辨率）

Thermo Fisher ESCALAB Xi+：XPS成分分析（0.1at%检测限）

Anton Paar MCT-3纳米划痕仪：动态载荷附着力测试（0.001N分辨率）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.