平面法检测

检测项目

平面度误差：检测范围±0.01 mm/m至±0.5 mm/m，采用最小二乘法评定

表面粗糙度：Ra 0.1-3.2 μm，Rz 0.5-12.5 μm，取样长度0.25-8.0 mm

平行度偏差：公差等级IT5-IT8，最大允许偏差±0.002-0.05 mm

垂直度误差：测量角度90°±0.01°至90°±0.5°

平面波动量：波动幅度0.5-10 μm，频率范围10-200 Hz

检测范围

金属加工件：机床导轨、液压阀板、发动机缸体

光学元件：棱镜基面、激光反射镜、晶圆衬底

精密模具：注塑模腔板、冲压模模板

陶瓷基板：电子封装基片、热沉组件

复合材料结构件：航天器蜂窝板、风电叶片连接面

检测方法

平面度检测：ISO 12781-2011几何产品规范(GPS)、ASTM E1965-19光学平面测试、GB/T 11337-2004平面度误差检测

粗糙度测量：ISO 4287-1997表面结构轮廓法、GB/T 1031-2009表面粗糙度参数及数值

平行度验证：ASME B89.3.7-2013平面特征测量、GB/T 1958-2017产品几何量技术规范

垂直度检测：ISO 12180-2011圆柱要素几何公差、GB/T 1184-1996形状和位置公差

波动量分析：DIN 876-1980平面测量仪检定规程、JJF 1097-2003平面度测量仪校准规范

检测设备

三坐标测量机：Hexagon Optiv Performance 443，测量精度0.6+L/400 μm，配备SP25M接触式探头

激光轮廓仪：Taylor Hobson Form Talysurf i120，垂直分辨率0.8 nm，横向采样间距0.25 μm

激光干涉仪：Renishaw XL-80，线性测量精度±0.5 ppm，最大测量距离80 m

光学平面仪：Trioptics OptiFlat 300，检测口径Φ300 mm，平面度分辨率0.02 μm

表面形貌仪：ZYGO Verifire MST，波长范围400-700 nm，PV值重复性±0.5 nm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.