检测项目
几何参数检测：
- 刻线间隔精度：偏差值（±0.05μm，参照ISO10110-8）、刻线平行度（≤0.01°）
- 刻线深度一致性：深度偏差（±5%，依据GB/T1800.1）
- 表面平坦度：波前畸变（PV≤λ/10at632.8nm）
光学性能检测：- 衍射效率：主级效率（≥85%at500nm）、次级抑制比（≤-20dB）
- 波长准确性：中心波长偏差（±0.1nm）
- 偏振依赖性：偏振消光比（≥30dB）
表面质量测试：- 粗糙度参数：Ra值（≤1nm）、Rz值（≤5nm）
- 缺陷密度：划痕数量（≤5条/cm²）、麻点尺寸（≤10μm）
- 涂层均匀性：厚度偏差（±5nm）
材料特性分析：- 基材透射率：透射损失（≤2%atVIS波段）
- 反射率特性：反射系数（≥95%at入射角30°）
- 热膨胀系数：CTE值（±1×10⁻⁶/K）
环境耐久性测试：- 温度循环稳定性：效率变化（≤1%after-40°Cto+85°C）
- 湿度影响：性能衰减（≤2%at85%RH）
- 抗化学腐蚀：耐酸碱等级（Class5）
机械强度验证：- 抗弯强度：断裂载荷（≥50N）
- 硬度参数：维氏硬度（HV≥500）
- 粘附力测试：涂层剥离强度（≥5MPa）
光谱特性检测：- 分辨率指标：光谱带宽（≤0.1nm）
- 线性度误差：波长线性偏差（≤0.05%）
- 杂散光水平：背景噪声（≤0.1%）
制造工艺检验：- 刻蚀均匀性：深度变化（±2%）
- 复制精度：母版匹配度（偏差≤0.1μm）
- 边缘完整性：崩边尺寸（≤5μm）
校准与溯源：- 基准比对：溯源偏差（±0.01μm）
- 重复性验证：测量标准差（σ≤0.005）
- 长期稳定性：年漂移量（≤0.1%）
功能性能测试：- 系统集成验证：位移测量精度（±0.1μm）
- 光谱响应范围：覆盖波长（200-2000nm）
- 噪声等效功率：NEP值（≤1pW/√Hz）
检测范围
1.反射光栅：铝或金涂层基底，重点检测反射率一致性、涂层耐久性和衍射效率衰减。
2.透射光栅：石英或玻璃基底，侧重透射损失均匀性、基材气泡缺陷和波长线性度。
3.全息光栅：光敏聚合物材料，检测干涉条纹精度、噪声水平和重现稳定性。
4.凹面光栅：曲面光学元件，聚焦检测焦距准确性、像差校正和面形偏差。
5.平面光栅：通用衍射元件，强调刻线密度均匀性、表面平坦度和偏振不敏感性。
6.红外光栅：锗或硅基材料，检测长波红外波段效率、热稳定性及抗热损伤。
7.紫外光栅：熔融石英基底，侧重抗辐射老化、短波效率衰减和表面污染。
8.刻划光栅：金属刻线结构，检测刻线锋利度、磨损电阻和机械强度。
9.复制光栅：复制工艺产品，验证母版匹配精度、聚合物寿命和环境适应性。
10.定制光栅：特殊应用光栅，如闪耀角光栅，检测定制参数（如闪耀角精度±0.1°）和功能符合性。
检测方法
国际标准：
- ISO10110-8:2020光学元件表面公差规范
- ISO13697:2006光学衍射效率测量
- ASTME284-17表面粗糙度术语与定义
- ASTMF1044-05光谱仪器性能测试
国家标准：- GB/T1185-2021光学元件表面质量检测规范
- GB/T1800.1-2020产品几何技术规范公差
- GB/T11186.3-2022涂层光学性能测量
- GB/T2611-2007环境试验方法通则
方法差异说明：ISO标准侧重全局公差系统，而GB/T更注重特定参数限值；ASTM光谱方法强调动态范围，GB/T则强化仪器校准要求；温度测试中，ISO使用梯度循环，GB/T采用稳态恒温。
检测设备
1.光学轮廓仪：ZYGONewView9000（垂直分辨率0.1nm，扫描范围100mm）
2.光谱分析仪：OceanInsightHR4000（波长范围200-1100nm，分辨率0.1nm）
3.激光干涉仪：ZygoVerifire（波长632.8nm，精度λ/100）
4.金相显微镜：OlympusBX53（放大倍率50-1000x，NA0.9）
5.分光光度计：PerkinElmerLambda950（波长范围175-3300nm，带宽0.05nm）
6.环境试验箱：WeissTechnikWK3-180（温度范围-70°Cto+180°C，湿度10-98%RH）
7.显微硬度计：BuehlerMicromet5100（负载范围10-1000g，精度±1HV）
8.电子万能试验机：INSTRON5967（载荷范围50N-50kN，应变率0.001-500mm/min）
9.光栅衍射测试台：定制系统（角度分辨率0.001°，波长精度±0.01nm）
10.CCD成像系统：AndoriKon-L（分辨率2048x2048，QE>90%）
11.原子力显微镜：BrukerDimensionIcon（扫描范围90μm，分辨率0.2nm）
12.偏振分析仪：ThorlabsPAX1000（波长范围400-700nm，消光比检测限-40dB）
13.热重分析仪：TAInstrumentsQ50（温度范围室温-1000°C，精度±0.1°C）
14.激光功率计：OphirNovaII（功率范围10pW-50W，精度±0.5%）
15.表面瑕疵检测仪：MitutoyoSurfTestSJ-410（粗糙度范围0.001-40μmRa）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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研究院地址
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