散射离子检测

检测项目

离子浓度检测：测量范围1×10⁶~1×10¹⁴ ions/cm³，分辨率±0.5%

离子迁移率分析：覆盖0.1~3.0 cm²/(V·s)，误差≤1.2%

能量分布谱：能量范围0.1~100 keV，通道数1024

电荷态分布：检测电荷态+1~+5，精度±0.02e

横向散射角分布：角度范围0°~180°，步进精度0.01°

检测范围

半导体材料：硅晶圆、GaN外延片、碳化硅衬底

金属合金：钛铝合金、镍基高温合金、镁锂超轻合金

功能涂层：类金刚石涂层(DLC)、氮化钛耐磨层、热障涂层(TBC)

聚合物材料：离子交换膜、导电高分子复合材料

核材料：铀钚合金、核反应堆包壳材料

检测方法

ASTM E1508-12：离子散射谱(ISS)定量分析方法

ISO 18114:2021：二次离子质谱(SIMS)深度剖析标准

GB/T 32281-2015：半导体材料离子注入浓度检测规范

ASTM F1712-08：掠入射X射线散射(GIXS)测试流程

ISO 21365:2020：纳米材料表面离子分布表征方法

检测设备

Thermo Scientific Qtegra ISDS：配备双等离子源，支持静态/动态散射模式

ULVAC-PHI nanoTOF II：飞行时间二次离子质谱仪，质量分辨率＞30,000

Kratos AXIS Supra+：集成单色Al Kα源，角度分辨散射分析精度0.1°

Hiden SIMS Workstation：四极杆质谱系统，检出限达ppb级

Bruker D8 Discover：高能X射线散射仪，最大功率3kW，最小光斑10μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.