三氟化氯检测

检测项目

纯度分析：气相色谱法测定ClF3纯度（≥99.5%）

水分含量：卡尔费休法检测水分（≤50 ppm）

酸性杂质：离子色谱法测定HF、ClF等副产物（≤200 ppm）

残留量检测：表面残留ClF3定量分析（≤5 μg/cm²）

泄漏浓度监测：红外光谱法检测环境浓度（阈值≤1 ppm）

反应产物分析：质谱法鉴定分解产物（如Cl2、F2等）

检测范围

电子行业气体供应系统：高纯ClF3输送管道及储存罐体

化工反应容器：氟化反应釜内壁残留物检测

金属合金材料：镍基合金、蒙乃尔合金的腐蚀产物分析

密封材料：全氟橡胶、聚四氟乙烯的渗透性测试

实验室废液：含ClF3废弃物的无害化处理验证

检测方法

ASTM E260-2019：气相色谱法测定氟化物纯度

ISO 21438-1:2007：离子色谱法检测酸性气体杂质

GB/T 23978-2020：紫外分光光度法测定液态ClF3残留

ASTM D6304-2020：库仑法水分含量测定

GB 50493-2019：工业过程有毒气体泄漏检测规范

ISO 19702:2015：傅里叶变换红外光谱法（FTIR）气体分析

检测设备

Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID检测器，用于ClF3纯度及杂质分析

Mettler Toledo C20卡尔费休水分测定仪：微克级水分定量

Thermo Scientific Dionex ICS-6000离子色谱仪：HF、Cl⁻等阴离子检测

PerkinElmer NexION 300D ICP-MS：金属腐蚀产物的痕量元素分析

Inficon HAPSITE Smart Plus气体分析仪：现场快速检测ClF3泄漏浓度

Bruker VERTEX 70v傅里叶红外光谱仪：气体分解产物定性定量分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.