低放大率物镜检测

检测项目

1. 数值孔径（NA）

检测参数：0.04-0.15范围精度±0.003，测量重复性≤1.5%

2. 分辨率

检测参数：线对分辨率2-5μm（对应10X-50X物镜），MTF曲线衰减≤15%@50 lp/mm

3. 像场平坦度

检测参数：Φ20mm视场内波前误差≤λ/4（λ=632.8nm）

4. 畸变率

检测参数：径向畸变≤0.5%，切向畸变≤0.3%（依据ISO 9039）

5. 透光率

检测参数：400-700nm波段透过率≥92%，镀膜反射率≤1.5%

检测范围

1. 金属材料表面缺陷

包括铝合金、钛合金等抛光件表面微裂纹（5-50μm级）

2. 半导体晶圆线宽

适用于硅基晶圆0.5-10μm线宽结构形貌分析

3. 生物组织切片

病理切片细胞形态观测（10-100μm级组织结构）

4. 高分子薄膜厚度

检测PE/PP薄膜20-200μm厚度分层界面

5. 精密光学元件

透镜边缘崩边检测（缺陷尺寸≥5μm）

检测方法

1. 数值孔径测量

ASTM E1951-14(2020) 光学显微镜物镜NA测定方法

2. 分辨率验证

ISO 10934:2021 光学系统分辨率测试标板法

3. 波前分析

GB/T 9246-2022 显微物镜像差检测规程

4. 畸变校正

ISO 9039:2023 光学系统畸变测量网格法

5. 光谱透射率测试

GB/T 26331-2010 光学薄膜光谱特性测定方法

检测设备

1. 奥林巴斯BX43M显微系统

配置5X/10X/20X/50X物镜，集成DP27数字相机，支持明/暗场观察

2. Zygo Verifire MST干涉仪

波长632.8nm，波前测量精度λ/1000，用于像差分析

3. 蔡司Axio Imager A2m

配备EC Epiplan物镜组，支持微分干涉对比（DIC）成像

4. 岛津UV-3600分光光度计

波长范围185-3300nm，透射率测量精度±0.08%

5. 尼康Eclipse LV150N

搭载CFI60光学系统，支持12.5X-600X连续变倍检测

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.