吸枪法氦质谱检漏可检漏率检测

检测项目

1. 最小可检漏率：≤1×10^-9 Pa·m³/s 2. 响应时间：≤3秒（氦气浓度达到90%示值） 3. 校准漏孔标准值：1×10^-5~1×10^-12 Pa·m³/s 4. 背景信号干扰抑制：≤5%示值波动 5. 系统恢复时间：≤30秒（清除率≥99%）

检测范围

1. 真空设备：不锈钢/铝合金真空腔体、分子泵组 2. 密封元件：橡胶O型圈、金属波纹管密封件 3. 管道系统：核级阀门、LNG低温输送管道 4. 电子器件：半导体封装外壳、MEMS传感器 5. 医疗包装：无菌药品泡罩包装、血袋密封口

检测方法

1. ASTM E493-22《Standard Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode》 2. ISO 20486:2017《Leak detection systems - Helium mass spectrometer leak detectors》 3. GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》 4. GB/T 34635-2017《真空技术 氦质谱检漏方法》 5. ISO 15848-1:2015《工业阀门 微泄漏测量与试验程序》

检测设备

1. Leybold PHOENIX L300i：量程1×10^-12~1×10^-4 Pa·m³/s，配备双通道质谱分析系统 2. Agilent HDS 210：支持0.1秒快速响应模式，集成自动校准模块 3. INFICON UL1000 Fab：适用于洁净环境检测，分辨率达0.01ppm氦浓度 4. Pfeiffer ASM 390：多级涡轮分子泵组配置，极限真空≤5×10^-8

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.

其他证书详情（可咨询在线工程师）：

荣誉资质 国防经济发展促进会 AAA级信用证书

合作客户(部分)

1、自改制以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；

2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；

3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；

4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。