氦检漏孔结构检测

检测项目

最大允许泄漏率测定：阈值范围1×10⁻⁴~1×10⁻¹² Pa·m³/s

最小可检漏率验证：灵敏度≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s

压力衰减测试：测试压力0.1~40MPa（根据产品等级）

氦气本底浓度监测：控制值＜1×10⁻⁶ mbar·L/s

重复性误差分析：相对标准偏差≤±3%

检测范围

金属焊接结构件（不锈钢/铝合金/钛合金）

半导体封装器件（晶圆级封装/芯片外壳）

真空设备组件（分子泵腔体/超高真空法兰）

汽车动力系统（燃料电池双极板/锂电池壳体）

医疗设备密封件（人工心脏瓣膜/血液透析器）

检测方法

ASTM E499-20：质谱仪示踪气体法（喷吹模式/真空模式）

ISO 20485:2017：累积法氦泄漏量测量规程

GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测

GB 12323-2020：压力容器氦质谱检漏技术规范

ASME BPVC Section V Art.10：承压设备真空罩检漏法

检测设备

Pfeiffer Vacuum ASM 340：四极杆质谱仪（质量数2~200 amu），分辨率0.5 amu

Inficon UL1000 Fab：集成式检漏系统（响应时间＜1s），支持SNIFFER模式

Agilent VS Series：真空校准系统（极限真空5×10⁻⁸ mbar），含自动压力控制模块

Leybold Phoenix L300i：双通道质谱仪（动态范围10⁻⁴~10⁻¹² mbar·L/s）

Cincinnati Test Systems Sentinel I28：多工位测试台（同时检测8个工件），符合ISO/IEC 17025标准

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.