离子溅射泵检测

检测项目

极限真空度：≤1×10^-7 Pa（常温工况）

抽气速率：20-500 L/s（氮气介质测试）

漏率指标：≤1×10^-9 Pa·m³/s（氦质谱法）

耐压强度：≥0.6 MPa（氦气保压测试）

残余气体分析：H₂O含量≤5 ppm，碳氢化合物≤2 ppm

振动耐受性：振幅≤50 μm（频率10-2000 Hz扫频测试）

热稳定性：-50℃至150℃循环冲击测试

检测范围

半导体制造用磁控溅射系统

光学镀膜设备多层膜沉积单元

科研级超高真空分析仪器

光伏电池PVD镀膜生产线

航空航天涂层制备设备

检测方法

ASTM E595-07(2019)：真空环境下材料放气特性测试

ISO 21360-3:2019：真空泵性能测量方法（第3部分）

GB/T 3163-2007：真空技术术语与性能测试规范

GB/T 32294-2015：真空设备漏率检测方法

ISO 1608-2:2020：容积真空泵抽速测定（动态流导法）

ASTM F1375-92(2021)：氦质谱检漏仪校准规程

检测设备

四极质谱仪Agilent 5977B：残余气体成分定量分析（质量数1-300 amu）

氦质谱检漏仪Leybold PHOENIX L300i：最小可检漏率5×10^-13 Pa·m³/s

复合真空计INFICON BPG400：覆盖1×10^-9至1×10⁵ Pa全量程测量

动态流量校准系统MKS 179B：抽速测试精度±3% FS

热循环试验箱ESPEC TSE-11-A：温控精度±0.5℃（-70℃至+180℃）

振动测试系统B&K 4809：最大加速度30 g（频率范围5-5000 Hz）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.