反射干涉仪检测

检测项目

1.薄膜厚度测量：分辨率0.1nm，测量范围5nm-500μm

2.表面粗糙度分析：Ra值检测精度0.05nm（1μm1μm区域）

3.折射率测定：精度0.0005（波长范围400-1700nm）

4.多层膜结构解析：支持最多50层膜系分析

5.界面缺陷检测：可识别≥50nm的微裂纹与分层缺陷

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆外延层、III-V族化合物薄膜

2.光学镀膜：抗反射膜、高反射镜、滤光片

3.聚合物薄膜：PET阻隔层、LCD偏光膜功能涂层

4.金属涂层：磁控溅射铝膜、PVD硬质镀层

5.生物薄膜：药物缓释涂层、生物传感器敏感膜

检测方法

ASTMF2459-05(2020)：光学薄膜厚度测量标准方法

ISO14782:2021：非金属材料透射率干涉测试规范

GB/T26323-2010：光学功能薄膜折射率测试通则

ISO25178-604:2013：表面纹理干涉测量实施规程

GB/T38823-2020：柔性显示基材薄膜特性测试指南

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光干涉三维表面形貌仪，垂直分辨率0.1nm

2.FilmetricsF20：宽光谱反射式膜厚测量系统（190-1700nm）

3.BrukerContourGT-X3：动态干涉显微成像系统，支持100mm晶圆全检

4.KLA-TencorSpectraFilmF1：半导体专用在线膜厚监测仪

5.ShimadzuAIM-9000：红外干涉镀层分析系统（2-25μm波段）

6.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦干涉显微镜，XYZ三轴纳米定位

7.NanometricsAtlas-M：多波长椭偏干涉集成系统

8.VeecoNT9800：相移干涉仪，支持300mm晶圆级测量

9.HoribaUVISEL2：宽光谱可变角干涉椭偏仪（190-2100nm）

10.TaylorHobsonCCIHD：非球面光学元件专用干涉分析系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.