磁控溅射检测

检测项目

1.膜层厚度：测量范围50nm-10μm，精度1.5%，采用台阶仪与椭偏仪双系统校准

2.附着力强度：划痕法测试临界载荷（Lc值），压痕法测试结合强度等级

3.元素成分分析：EDS能谱仪测定元素含量（精度0.1at%），XPS分析化学态分布

4.表面粗糙度：AFM扫描1010μm区域Ra值（分辨率0.1nm）

5.方阻测试：四探针法测量电阻率（量程10^-3-10⁶Ωcm）

6.光学性能：分光光度计测量400-2500nm波段透过率/反射率（精度0.5%）

检测范围

1.金属功能薄膜：Al/Cu/Ti靶材制备的导电膜（厚度200-500nm）

2.氧化物薄膜：ITO、AZO等透明导电氧化物（TCO）镀层

3.氮化物硬质涂层：TiN/AlCrN耐磨镀层（硬度≥20GPa）

4.多层复合膜系：Al₂O₃/TiO₂光学干涉膜（层数≥15）

5.半导体薄膜：SiC/GaN外延层（缺陷密度≤10³/cm²）

6.柔性基材镀膜：PET/PC基材金属化处理（弯折次数≥5000次）

检测方法

ASTMB933-21《金属涂层附着力标准测试方法》划痕试验规范

ISO14707:2015《辉光放电光谱法化学成分分析通则》

GB/T16535-2008《精细陶瓷薄膜厚度测试方法》接触式测量标准

ISO25178-2:2022《表面纹理三维表征》非接触式轮廓测量要求

GB/T13301-2019《金属覆盖层电阻测试方法》四探针法实施规范

ASTMF1048-2020《透明导电膜光学性能测试标准》

检测设备

1.BrukerDektakXT台阶仪：垂直分辨率0.1nm，最大扫描长度55mm

2.ThermoFisherESCALABXi+XPS系统：单色AlKα源（1486.6eV）

3.Agilent5500AFM：ScanAsyst模式自动表面形貌分析

4.KeysightE5063A阻抗分析仪：频率范围20Hz-3GHz电阻测试

5.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：三探测器DUBO光学系统

6.CSMRevetest划痕仪：最大载荷50N，声发射信号同步采集

7.OxfordInstrumentsX-MaxNEDS探测器：50mm能谱采集面积

8.FourDimensions4DModel280SI四探针台：自动间距调节系统

9.ZygoNewView9000白光干涉仪：0.1nm垂直分辨率表面粗糙度分析

10.HitachiSU5000热场发射电镜：1nm分辨率镀层截面观测

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.