阿贝比长原理检测

检测项目

1.基准线纹尺校准：分度误差≤0.5μm/100mm；累积误差≤1.2μm/500mm

2.光栅尺系统验证：分辨率0.1μm；示值重复性≤0.3μm

3.温度补偿性能测试：温控精度0.1℃；热膨胀系数修正误差≤0.05ppm

4.光学对准系统校验：物镜畸变≤0.02%；CCD像素定位精度≤0.15μm

5.动态测量稳定性：24小时漂移量≤0.8μm；振动干扰抑制≥60dB

检测范围

1.精密线纹计量器具：包括玻璃线纹尺、金属刻线尺、光栅编码器等

2.半导体制造设备：光刻机工作台定位系统、晶圆对位装置

3.航空航天部件：发动机叶片轮廓量规、飞行器结构件检具

4.高精度机床：数控机床滚珠丝杠定位系统、导轨直线度基准

5.光学仪器：干涉仪参考镜组、显微镜载物台位移系统

检测方法

1.ASTME284-17《StandardTerminologyforMicroscopy》光学对准规范

2.ISO8512-2:2020《Geometricalproductspecifications(GPS)-Systematicerrorsandcorrectionsofmeasuringmachines》

3.GB/T13962-2009《光学计量仪器术语及定义》

4.GB/T24762-2021《产品几何技术规范(GPS)光栅测量系统的验收检测和复检检测》

5.ISO/IEC17025:2017《检测和校准实验室能力通用要求》环境控制条款

检测设备

1.SJ-2000型激光干涉比长仪：波长稳定性0.02ppm，最大量程2000mm

2.Keysight5530动态校准仪：频率响应范围0-100Hz，分辨率0.01nm

3.MitutoyoLH-600三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

4.ZygoVerifireMST干涉仪：面形精度λ/20PV值，重复性λ/100

5.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：单点重复性15μm

6.RenishawXL-80激光校准系统：线性测量不确定度0.5ppm

7.Agilent3458A高精度万用表：8位数采分辨率，0.001ppm/℃温漂

8.Fluke724温度校准仪：控温范围-25~150℃，稳定性0.01℃

9.Bruel&Kjaer4524振动分析仪：频率范围0.1Hz-20kHz，分辨率0.1mg

10.OlympusSTM7测量显微镜：物镜放大倍率5X-100X，载物台定位精度1μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.