辉光放电检测

检测项目

1.放电电压稳定性：测量范围0.5-2.5kV，精度0.1%

2.电流密度分布：测试范围1-50mA/cm，分辨率0.01mA

3.元素深度剖析：分析深度0.1-200μm，深度分辨率≤5nm

4.等离子体温度：测量范围3000-8000K，误差50K

5.溅射速率校准：标定范围0.1-50nm/s，重复性误差≤2%

检测范围

1.金属材料：不锈钢、铝合金、钛合金表面处理层

2.半导体材料：硅晶圆掺杂层、III-V族化合物外延层

3.陶瓷材料：氮化铝基板、氧化锆涂层

4.光伏材料：CIGS薄膜太阳能电池各功能层

5.磁性材料：钕铁硼永磁体镀层结构分析

检测方法

ASTME3061-17《辉光放电光谱法测定金属基体成分的标准方法》

ISO14707:2015《表面化学分析-辉光放电发射光谱方法通则》

GB/T17359-2023《微束分析辉光放电质谱方法通则》

GB/T41073-2021《微束分析辉光放电发射光谱定量分析方法》

ISO16962:2017《金属覆盖层厚度测量辉光放电光谱法》

检测设备

1.ThermoFisherScientificGDS-850A：配备双等离子体源系统，支持RF/DC模式切换

2.HORIBAGD-Profiler2：集成全谱直读光谱仪，波长范围165-800nm

3.LECOGDS500：配置四级杆质谱仪联用接口，检出限达ppb级

4.SPECTRUMAGDA750：采用CCD阵列探测器，同时采集多元素特征谱线

5.BrukerGDS-SD300：配备3D深度重构软件系统

6.ShimadzuGDS-9000：支持脉冲式辉光放电技术

7.HitachiHigh-TechGD-ProfilerPD-3000：集成自动样品台定位系统

8.Agilent8900GD-MS：三重四极杆质谱联用系统

9.OxfordInstrumentsPlasmaProGD100：配备反应气体控制系统

10.JEOLJGD-5000F：配置场发射电子枪辅助激发源

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.