检测项目
1. 同轴度误差:轴向偏移量≤0.005mm(基于GB/T 1958-2017)
2. 水平方向角度偏差:允许范围±2″(依据ISO 12858-2:2020)
3. 垂直方向角度偏差:允许范围±3″(依据ISO 12858-2:2020)
4. 重复定位精度:最大偏差≤0.002mm(参照ASTM E177-20)
5. 温度漂移特性:20°C±1°C环境下稳定性≤0.001mm/°C(按GB/T 1184-1996)
检测范围
1. 光学测量仪器:经纬仪、全站仪、激光跟踪仪
2. 精密机械部件:数控机床主轴、转台轴承组件
3. 半导体制造设备:光刻机晶圆台、探针台
4. 航空航天部件:惯导系统支架、星敏感器安装基座
5. 工业机器人:六轴关节重复定位校准模块
检测方法
1. ASTM E177-20《测量系统精度测试标准方法》
2. ISO 12858-2:2020《光学仪器测试方法—第2部分:望远镜系统》
3. GB/T 1184-1996《形状和位置公差未注公差值》
4. GB/T 1958-2017《产品几何量技术规范(GPS)几何公差检测与验证》
5. ISO 230-7:2015《机床检验通则—第7部分:回转轴线的几何精度》
检测设备
1. Renishaw XL-80激光干涉仪:分辨率0.001μm的线性位移测量
2. Leica AT960绝对跟踪仪:角度测量精度±0.5″
3. WYLER Clinometer 7200电子水平仪:倾角分辨率0.1″
4. API XD Laser六维激光校准系统:同步测量6自由度误差
5. Mitutoyo Crysta-Apex C系列三坐标机:空间精度(1.9+L/250)μm
6. Hexagon Absolute Arm 7轴测量臂:重复精度±0.015mm
7. Zygo Verifire干涉仪:波前分析精度λ/100 RMS
8. Keysight N7788B光偏振分析仪:偏振消光比>40dB
9. SIOS SP-2000纳米定位平台:闭环定位分辨率0.1nm
10. Nikon NEXIV VM-500影像测量系统:光学放大倍率3000X
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。