平行粒子流检测

检测项目

1. 粒子通量密度：测量范围1×10³-1×10⁸ particles/cm²·s，精度±2%

2. 能量分辨率：检测阈值0.1-20 MeV，误差≤0.5%

3. 散射角分布：角度范围0°-180°，角分辨率0.01°

4. 穿透深度分析：测量精度±10 nm（金属基材）

5. 电荷态分布：离子电荷态分离度Z=1-30

检测范围

1. 半导体材料：硅晶圆、GaN外延片、碳化硅衬底

2. 金属合金：钛铝合金、镍基高温合金、镁锂合金

3. 高分子材料：聚酰亚胺薄膜、PTFE涂层、环氧树脂基体

4. 纳米复合材料：石墨烯增强陶瓷、碳纳米管聚合物

5. 生物医药材料：羟基磷灰石涂层、医用不锈钢植入体

检测方法

ASTM F3128-2021《带电粒子束表征标准指南》

ISO 21466:2019《微束分析-平行粒子流定量测试方法》

GB/T 19077-2016《粒度分布-激光衍射法》

GB/T 36065-2018《纳米材料表面电荷密度测试方法》

IEC 60749-39:2021《半导体器件机械和环境试验方法》

检测设备

1. Malvern Panalytical Mastersizer 3000：激光衍射粒度分析仪

2. TSI Aerodynamic Particle Sizer 3321：空气动力学粒径谱仪

3. Horiba Partica LA-960V2：动态光散射纳米粒度仪

4. Bruker D8 ADVANCE：X射线衍射残余应力分析系统

5. Keysight 85070E：介电特性探头套件

6. Thermo Scientific iCAP RQ：电感耦合等离子体质谱仪

7. Shimadzu SALD-7500nano：纳米颗粒图像分析系统

8. Oxford Instruments X-MaxN 80：能谱分析探测器

9. Agilent 5500 AFM：原子力显微镜表面形貌仪

10. JEOL JEM-ARM300F：球差校正透射电子显微镜

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.