磁悬浮转子真空计检测

检测项目

1. 真空度测量精度：量程1×10^-3 Pa至1×10^-7 Pa时误差≤±0.5%FS

2. 转子轴向位移量：最大偏移量≤0.8μm（转速30000rpm条件下）

3. 温度漂移系数：-20℃~80℃范围内输出波动≤0.01%/°C

4. 磁场均匀度：工作区域内磁场梯度≤5μT/mm

5. 长期稳定性：连续运行500小时零点漂移≤0.3%FS

检测范围

1. 半导体制造用分子泵组真空系统

2. 航天器热真空试验舱压力监测单元

3. 同步辐射装置束线真空管道

4. 核聚变装置第一壁真空隔离系统

5. 高精度质谱仪进样系统

检测方法

ASTM E2971-22《静态膨胀法真空计校准规程》

ISO 3567:2021《真空计与标准规管比对法》

GB/T 34874-2017《磁悬浮转子真空计检定规程》

GB/T 3163-2022《真空技术术语》

ISO 21360:2019《真空泵性能测试方法》

检测设备

1. Agilent UHV-24高精度真空校准系统（极限真空5×10^-8 Pa）

2. Keysight 34972A多通道数据采集器（24位ADC,100kS/s）

3. Omicron XYZ-R2000非接触式位移测量仪（分辨率0.01μm）

4. Lake Shore 475型数字高斯计（量程0.01mT-3T）

5. Fluke 7341温湿度综合校验仪（精度±0.05℃）

6. INFICON CDG025D电容薄膜规（参考级标准规管）

7. Leybold RUVAC WS2001分子泵组（抽速2000L/s）

8. National Instruments PXIe-4139源测量单元（±100V/±3A）

9. Tektronix DPO7254数字示波器（2.5GHz带宽）

10. MKS 670B智能压力控制器（控制精度0.025%）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.