破坏真空检测

检测项目

1.漏率检测：氦气检漏灵敏度≤110⁻Pam/s
2.极限真空度：可测范围110⁻⁴Pa至110⁻⁹Pa
3.放气率测试：材料表面放气量≤510⁻⁶Pam/(sm)
4.耐压强度：最大测试压力150MPa（绝对压力）
5.渗透系数：气体渗透率分辨率达110⁻⁴cm(STP)cm/(cmsPa)

检测范围

1.半导体行业晶圆传输腔体
2.航空航天密封舱门组件
3.高能物理加速器真空管道
4.医疗灭菌包装材料
5.深冷工程绝热层复合材料

检测方法

1.ASTME493-22氦质谱累积法检漏技术
2.ISO3529-3:2020静态升压法放气率测定
3.GB/T3163-2020四极杆质谱残余气体分析法
4.ASTMF2338-22真空衰减法包装密封性测试
5.GB/T12604.7-2021正压法渗透系数测量规程

检测设备

1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s
2.Agilent5977BGC-MS系统：气体成分分析精度0.1ppm
3.LeyboldMAGI520磁悬浮分子泵组：极限真空510⁻⁰Pa
4.MKS925C电容薄膜规：压力测量范围110⁻⁴~1000Torr
5.PfeifferHPT200热阴极电离规：高精度真空度测量
6.EdwardsXDS35干式涡旋泵：无油真空获得系统
7.VarianStarTrack四极质谱仪：动态气体分析系统
8.KurtJ.LeskerAHT1000自动氦检台：集成化密封测试平台
9.CanonANELVAMR-105磁阻规：宽量程压力传感器
10.ShimadzuMCT-110渗透测试仪：薄膜材料渗透系数测定

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.