反射微镜照片检测

检测项目

1.表面粗糙度：Ra≤0.05μm~10μm范围测量，Sa/Sq三维粗糙度参数分析

2.微观缺陷检测：识别≥0.1μm的划痕、凹坑、异物等缺陷

3.涂层厚度测量：分辨率达5nm的膜层厚度测定

4.几何形貌重建：XYZ轴向重复精度0.5nm的三维形貌建模

5.晶粒尺寸分析：自动统计0.5-200μm范围内的晶粒分布

检测范围

1.半导体晶圆表面加工质量验证

2.金属电镀/真空镀膜层结构表征

3.MEMS器件微结构尺寸测量

4.光学元件表面光洁度测试

5.高分子材料断面微观形貌分析

检测方法

ASTME2381-12反射率法测量表面粗糙度

ISO25178-2:2022产品几何量技术规范(GPS)表面纹理分析

GB/T16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法

ISO1463:2021金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法

GB/T3505-2020产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义

检测设备

1.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，Z轴分辨率0.01nm

2.KeyenceVK-X1000：激光扫描显微镜带3D表面重建功能

3.ZeissAxioImager.M2m：微分干涉对比显微镜，配备ECEpiplan物镜组

4.BrukerContourGT-X3：白光干涉仪支持0.1nm垂直分辨率

5.NikonEclipseLV150N：明暗场反射显微镜带15:1变倍物镜

6.HitachiTM4000Plus：桌面电镜支持反射模式观测

7.LeicaDCM8：共聚焦显微镜带ISO25178认证模块

8.ZygoNewView9000：相移干涉仪配置Mx™软件包

9.MitutoyoMF-U1000H：超景深显微镜支持500万像素成像

10.SensofarSneox：三模式(共聚焦/干涉/焦点变化)一体化系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.