孔径像差检测

检测项目

1.波前误差RMS值：≤λ/20（λ=632.8nm）
2.点扩散函数半高宽（FWHM）：≤2.5μm@546nm
3.斯特列尔比（StrehlRatio）：≥0.95
4.泽尼克系数Z4-Z11：单项偏差≤0.05λ
5.调制传递函数（MTF）@50lp/mm：≥0.6

检测范围

1.光学透镜：包括球面/非球面透镜、双合透镜等
2.光纤连接器：陶瓷插芯端面曲率半径0.25-20mm
3.显微物镜：NA值0.1-1.4的无限远校正系统
4.光刻机投影物镜：工作波长193nm/248nm/365nm
5.红外光学系统：8-12μm波段锗/硫化锌元件

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范
2.ASTME903-12材料透射率及反射率测试标准
3.GB/T7661-2009光学零件表面疵病检验方法
4.ISO14999-4:2015光学元件干涉测量技术规范
5.GB/T10988-2009光学系统像质评价测试方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100
2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：分辨率0.1μm
3.OptikosLensCheck数字式焦距测量系统：重复精度0.01%
4.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态范围＞1μm
5.ThorlabsWFS-300波前传感器：采样率1500Hz
6.NikonNEXIVVMZ-S6520光学测量显微镜：放大倍率5000X
7.BrukerContourGT-K白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
8.HamamatsuC11440近红外相机：响应波段900-1700nm
9.OphirSpiriconM2-200光束质量分析仪：M测量精度3%
10.KeysightCary7000紫外可见分光光度计：波长范围175-3300nm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.