次级发射检测

检测项目

1.二次电子产额（SEY）测定：测量范围0.1-5.0@入射能量1-5000eV
2.二次电子能量分布谱：分辨率≤0.5eV@0-50eV区间
3.角度分布特性：极角0-90范围内发射强度分布
4.表面成分分析：元素检出限≤0.1at%
5.热稳定性测试：温度范围-196℃至1200℃

检测范围

1.半导体材料：GaAs、SiC等宽禁带半导体晶圆
2.真空电子器件：行波管收集极、光电倍增管打拿极
3.航天器表面材料：介质充电防护涂层、太阳帆板基材
4.显示器件：场发射显示器（FED）阴极涂层
5.高能物理探测器：微通道板（MCP）电极材料

检测方法

ASTME756-05(2017)振动疲劳测试中的次级效应测试
ISO21207:2015加速腐蚀试验中的二次发射监测
GB/T31309-2014电子材料二次电子发射系数测定规范
IEC60300-3-6:2017可靠性管理中的失效模式分析
GB/T28872-2012表面分析X射线光电子能谱通则

检测设备

1.KEITHLEY4200-SCS二次电子产额测试系统：配备单色电子枪（能量分辨率0.2eV）
2.ThermoScientificESCALABXi+X射线光电子能谱仪：配备单色AlKα光源
3.ZEISSGeminiSEM500场发射扫描电镜：配Inlens二次电子探测器
4.SPECSPHOIBOS150半球形能量分析仪：能量分辨率＜10meV
5.RBD9075脉冲离子源系统：Ar+束流密度0.1-10μA/cm
6.LakeShoreCRX-VF低温探针台：温控精度0.1K@4K-475K
7.AgilentB1500A半导体参数分析仪：最小电流分辨率10fA
8.PfeifferHIPACE700涡轮分子泵组：极限真空≤510⁻⁸Pa
9.OmicronISE100原位表面处理系统：集成离子刻蚀与退火模块
10.LabVIEW定制化数据采集系统：同步精度≤1μs

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.