对位对准检测

检测项目

1.位置偏差：X/Y/Z轴方向偏移量测量（0.5μm）
2.旋转角度误差：θx/θy/θz轴向偏转量（≤0.005）
3.重复定位精度：连续10次定位标准差（≤0.3μm）
4.同心度偏差：多轴系中心偏移量（1.5μm）
5.平面度误差：基准面波动量（≤0.8μm/100mm）

检测范围

1.半导体晶圆光刻对准标记
2.光掩模版图形套刻结构
3.液晶显示面板TFT阵列
4.MEMS器件多层微结构
5.精密模具型腔定位系统

检测方法

1.ASTMF533-19半导体晶圆对位测试规程
2.ISO12179:2021几何产品规范(GPS)坐标测量系统验证
3.GB/T13962-2009光学仪器术语与测试方法
4.ISO10360-7:2023坐标测量机性能评定
5.GB/T16857.6-2017产品几何量技术规范(GPS)坐标测量系统验收

检测设备

1.KeyenceIM-8000系列图像尺寸测量仪（0.1μm分辨率）
2.NikonMM-400U三坐标测量机（激光干涉闭环控制）
3.ZygoVerifireMST干涉仪（0.1nm波长精度）
4.HexagonLeitzPMM-C超高精度坐标机（0.6+L/400μm不确定度）
5.OlympusOLS5000激光共聚焦显微镜（120nm横向分辨率）
6.MitutoyoQuickVisionPro影像测量系统（双远心光学系统）
7.RenishawXL-80激光干涉仪（0.5ppm线性精度）
8.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（0.01nm垂直分辨率）
9.ZeissO-INSPECT复合式测量机（多传感器融合技术）
10.PanasonicHG-C1050激光位移计（0.05%FS线性度）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.