椭偏仪法检测

检测项目

1.薄膜厚度测量：范围1nm-10μm，精度0.1nm
2.复折射率测定：n值范围1.3-5.0，k值范围0-3
3.表面粗糙度分析：分辨率达0.5nmRMS
4.多层膜结构表征：支持≤15层堆叠体系解析
5.光学带隙计算：适用于190-2500nm光谱范围

检测范围

1.半导体材料：硅基氧化物/氮化物薄膜、III-V族化合物
2.光学镀膜：抗反射膜、高反射膜、滤光片
3.高分子聚合物：PDMS、PMMA等旋涂薄膜
4.金属纳米结构：金/银/铝等超薄金属层
5.生物界面层：蛋白质吸附层、细胞膜模拟体系

检测方法

ASTME903-2019材料太阳吸收率椭偏测试标准
ISO14707:2015辉光放电光谱与椭偏联用技术规范
GB/T26179-2010光学功能薄膜椭偏测量方法
GB/T39489-2020透明导电薄膜椭偏测试规程
JISK5600-7-8涂料膜厚椭偏测定法

检测设备

1.J.A.WoollamM-2000UI：宽光谱(190-1700nm)旋转补偿型椭偏仪
2.HoribaUVISEL2：紫外至近红外(190-2100nm)相位调制系统
3.SentechSE850adv：高精度显微椭偏成像系统(5μm空间分辨率)
4.AccurionEP4：集成QCM-D的联用型椭偏仪(液体环境测试)
5.FilmTek3000：生产线上在线监测专用椭偏系统
6.SemilabGES5E：适用于300mm晶圆的自动扫描椭偏仪
7.AngstromSunTechnologiesASP-100：太阳能电池专用椭偏分析仪
8.NanofilmEP3SW：超宽光谱(250-3300nm)科研级椭偏平台

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.