干涉序检测

检测项目

1.表面粗糙度测量：Ra0.1-100μm，空间波长0.1-1000μm
2.薄膜厚度分析：测量范围10nm-500μm，精度0.5%
3.面形误差检测：PV值0.1-50λ（λ=632.8nm）
4.相位分布测量：分辨率λ/1000（单次测量）
5.折射率均匀性：Δn≤110⁻⁵（光学玻璃）

检测范围

1.光学薄膜：增透膜/反射膜/滤光片
2.半导体晶圆：硅片/砷化镓衬底
3.MEMS器件：微结构表面形貌
4.精密模具：成型面微观特征
5.航天镜片：非球面光学元件

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件面形公差规范
2.ASTMF1048-87(2020)反射膜厚度测试标准
3.GB/T13811-2003激光平面干涉仪检定规程
4.ISO25178-604:2013非接触式表面粗糙度测量
5.GB/T13323-2009光学零件表面疵病检验方法

检测设备

1.ZygoNewView9000：白光干涉仪，垂直分辨率0.1nm
2.VeecoNT9800：相移干涉仪，孔径Φ300mm
3.TaylorHobsonCCIHD：非球面测量系统
4.BrukerContourGT-X3：3D光学轮廓仪
5.TriopticsMicroProf200：晶圆翘曲度分析仪
6.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜
7.MitutoyoMF-U1000A：超精密轮廓测量仪
8.4DTechnologyPhaseCam6000：动态干涉系统
9.FisbaμPhase2D：光纤干涉测量装置
10.NikonNEXIVVM-300S：视频测量干涉系统

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.