辅助聚焦检测

检测项目

1.轴向位移分辨率：测量精度0.1μm（量程0-500μm）
2.离焦补偿误差：允许偏差≤3%FS（满量程）
3.动态响应时间：采样频率10kHz（阶跃响应≤5ms）
4.像面波动度：重复定位精度≤0.8μm（20℃1℃）
5.温漂系数：-40℃~85℃范围内位移变化量≤0.05μm/℃

检测范围

1.光学玻璃镜片组（直径Φ3-200mm）
2.内窥镜柔性成像模组（曲率半径R≥5mm）
3.半导体光刻物镜（NA≥0.95）
4.聚合物薄膜镜头（厚度0.1-1.2mm）
5.微型化医疗影像探头（外径≤Φ2mm）

检测方法

1.ASTMF3294-18激光干涉法测量轴向位移
2.ISO10110-5双频激光差分相位检测
3.GB/T26323-2010白光共焦扫描技术
4.ISO9334:2012调制传递函数分析法
5.GB/T7661-2009五棱镜自准直校准法

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪（波长632.8nm）
2.OlympusFV3000共聚焦显微系统（轴向分辨率1nm）
3.KeyenceLT-9010M线阵CCD位移计（采样率50kHz）
4.MitutoyoMF-U1000超精密气浮导轨（直线度0.1μm/100mm）
5.ThorlabsMAX311D六轴微动平台（重复定位精度15nm）
6.ZeissLSM900活细胞成像系统（温控精度0.2℃）
7.NikonNEXIVVM-300视频测量仪（光学放大倍率5000X）
8.Agilent5530动态校准仪（频率响应DC-10kHz）
9.RenishawXL-80激光跟踪仪（测量距离80m）
10.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.