消象散装置检测

检测项目

1.轴向偏移量：测量装置中心轴与理论轴偏差值（精度0.01μm）
2.波前畸变：采用干涉法检测RMS值（标准λ=632.8nm）
3.像散角偏差：量化X/Y方向角度差（允差3arcsec）
4.透射率均匀性：扫描400-700nm波段内透射率波动（≤1.5%）
5.温度稳定性：-40℃~+85℃循环测试轴向位移量（ΔL≤0.2μm）

检测范围

1.高精度光学透镜组（NA≥0.65）
2.激光器谐振腔校正模块
3.光纤耦合器准直系统
4.显微镜物镜组（100油浸式）
5.投影光刻系统像差补偿单元

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评价
2.ASTME903-20材料透射率光谱测试
3.GB/T26397-2011光学仪器环境试验方法
4.ISO14999-4:2015光学元件波前公差规范
5.GB/T7661-2009光学零件气泡度检验

检测设备

1.ZYGOVerifireHD激光干涉仪：波长632.8nm，PV值分辨率0.1nm
2.PerkinElmerLambda950分光光度计：光谱范围175-3300nm
3.TriopticsImageMasterHR像散分析仪：角度分辨率0.5arcsec
4.Autronic-MelchersK2000高精度测角仪：重复精度0.1arcsec
5.ESPECPL-3环境试验箱：温控精度0.5℃
6.MitutoyoCMM三次元测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.01nm
8.NewportM-UTM50精密位移台：定位重复性10nm
9.HamamatsuC13340振动敏感度测试系统：频率范围5-2000Hz
10.KeysightN7788B偏振分析仪：消光比测量精度0.05dB

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.