检测项目
1.载流子浓度:测量本征激发产生的电子-空穴对密度(109-1010cm-3)
2.电阻率:测试材料导电能力(典型值>105Ωcm)
3.霍尔系数:确定载流子类型及迁移率(精度0.1cm3/C)
4.缺陷密度:通过腐蚀法或X射线衍射分析晶体缺陷(<103cm-2)
5.禁带宽度:利用光致发光谱测定能带结构(如硅1.12eV@300K)
检测范围
1.高纯单晶硅(纯度≥99.9999%)
2.锗单晶材料(直径50-200mm)
3.砷化镓(GaAs)薄膜衬底
4.碳化硅(SiC)宽禁带半导体晶圆
5.有机半导体单晶(并五苯/红荧烯体系)
检测方法
1.ASTMF723:四探针法测定半导体电阻率
2.ISO14707:辉光放电质谱分析痕量杂质
3.GB/T1551:硅单晶导电类型热探针法
4.GB/T14144:X射线双晶衍射法测缺陷密度
5.IEC62805:霍尔效应测试系统校准规范
检测设备
1.KDY-1型四探针测试仪:测量电阻率(量程10-4-106Ωcm)
2.HMS-3000霍尔效应测试系统:支持范德堡法及变温测试(77-500K)
3.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪:分析晶体取向与位错密度
4.Agilent4156C精密半导体参数分析仪:I-V/C-V特性表征
5.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪:禁带宽度非接触测量
6.ThermoScientificiCAPRQICP-MS:金属杂质含量检测(ppb级)
7.JEOLJSM-7900F扫描电镜:表面形貌与微区成分分析
8.Keithley2636B源表:高阻材料漏电流测试(0.1fA分辨率)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。