物理气相淀积检测

检测项目

1.膜层厚度：测量范围50nm-50μm，精度1.5%，采用非破坏性测量
2.附着力强度：划痕法测试临界载荷（Lc值），压头半径200μm
3.成分分析：EDS能谱元素检测精度0.1at%，XPS深度分辨率≤5nm
4.表面粗糙度：Ra值测量范围0.01-10μm，扫描长度4mm
5.硬度测试：纳米压痕法载荷范围0.1-500mN，压入深度分辨率0.1nm

检测范围

1.金属镀层：钛/铝/铜基合金镀层（厚度≤20μm）
2.半导体薄膜：氮化硅/氧化铪介电薄膜（厚度50-200nm）
3.光学涂层：ITO透明导电膜（方阻5-100Ω/□）
4.耐磨涂层：类金刚石碳膜（DLC）硬度≥20GPa
5.医疗植入物涂层：羟基磷灰石生物活性涂层（Ca/P比1.670.05）

检测方法

1.ASTMB568-18用X射线光谱法测量涂层厚度
2.ISO26423:2016CVD/PVD硬质薄膜划痕试验法
3.GB/T17722-2014金属覆盖层表面粗糙度测量方法
4.ASTME1078-14扫描电镜能谱成分分析标准
5.GB/T4340.1-2009金属材料维氏硬度试验
6.ISO14577-1:2015仪器化纳米压痕硬度测试

检测设备

1.BrukerDektakXT台阶仪：垂直分辨率0.1，XYZ自动平台
2.AntonPaarRevetest划痕仪：最大载荷50N，声发射监测模块
3.ZEISSSigma500场发射电镜：分辨率0.8nm@15kV，EDS探测器
4.KLATencorP-7轮廓仪：12mm量程，0.75μm半径探针
5.FischerscopeHM2000显微硬度计：0.01-2000mN力值范围
6.ThermoScientificK-AlphaXPS：单色化AlKα光源（1486.6eV）
7.RigakuSmartLabXRD：Cu靶旋转阳极，平行光路系统
8.Agilent5500AFM：ScanAsyst模式分辨率0.2nm
9.ShimadzuEPMA-8050G电子探针：波长色散谱仪（WDS）
10.HysitronTI950纳米压痕仪：动态模量测量精度3%

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.