受主原子检测

检测项目

1.受主原子浓度测定：测量范围0.1ppm-10%，精度要求(2%读数+0.05ppm)

2.晶格占位率分析：Kα特征X射线衍射半峰宽≤0.01

3.深度分布剖面：溅射速率控制精度0.5nm/s（0-500nm深度）

4.激活能测试：温度控制精度0.5K（300-1200K范围）

5.载流子浓度关联性：霍尔效应测试分辨率110^10cm^-3

检测范围

1.III-V族半导体材料：GaAs中Zn掺杂浓度0.5-510^18cm^-3

2.硅基半导体器件：硼掺杂外延层厚度50-300nm

3.宽禁带半导体：4H-SiC中Al掺杂梯度分布

4.光伏材料：碲化镉薄膜中Cu掺杂均匀性

5.超导材料：YBCO中Ca替代Y位点比例测定

检测方法

1.二次离子质谱法(SIMS)：ISO18114:2021深度分辨率≤3nm

2.辉光放电质谱法(GDMS)：ASTME1479-16检出限≤0.01ppm

3.俄歇电子能谱(AES)：GB/T20176-2023空间分辨率15nm

4.X射线光电子能谱(XPS)：ISO15472:2020结合能标定0.1eV

5.扩展X射线吸收精细结构(EXAFS)：JISK0134-2022配位数误差0.2

检测设备

1.ThermoScientificiCAP7400ICP-OES：波长范围166-847nm，检出限0.1ppb

2.CAMECAIMS7f-autoSIMS：质量分辨率M/ΔM≥20,000@m/z=28

3.PHI5000VersaProbeIIIXPS：单色AlKα源(1486.6eV)，束斑≤10μm

4.Agilent8800TripleQuadrupoleICP-MS：质量数范围3-270amu

5.BrukerD8ADVANCEXRD：Cu靶Kα辐射(λ=1.5406)，角度重复性0.0001

6.OxfordInstrumentsAZtecWaveWDS：能量分辨率<10eV@MnKα

7.JEOLJAMP-9500FAuger：电子束能量0.5-30kV，束流10pA-1μA

8.HORIBALabRAMHREvolutionRaman：空间分辨率250nm@532nm激光

9.LakeShore8404HallSystem：磁场强度0-2T，温度范围10-400K

10.SPECSPHOIBOS150XPS/ARPES：半球分析器能量分辨率≤0.3meV

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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