检测项目
化学成分分析:
- 主元素含量:硅含量(≥98.5%wt)、碳含量(≤0.1%wt,参照GB/T 14849.1)
- 杂质元素测定:铁杂质(≤0.4%wt)、铝杂质(≤0.5%wt)
物理特性检测:- 密度测定:绝对密度(2.33g/cm³±0.03)
- 硬度测试:维氏硬度(HV≥700)
杂质含量测定:- 非金属杂质:磷含量(≤5ppm)、硼含量(≤8ppm)
- 金属杂质:钙杂质(≤0.02%wt)、钛杂质(≤0.01%wt)
粒度分布分析:- 粒径范围:D10值(≥30μm)、D50值(50-150μm,参照ISO 13320)
- 粒度均匀性:分布系数(Span≤1.5)
电学性能检测:- 电导率测量:室温电导率(≥950S/m)
- 电阻率测定:体电阻率(≤0.01Ω·cm)
热学性能检测:- 熔点测定:熔融温度(1410℃±10℃)
- 热膨胀系数:线性膨胀(2.6×10⁻⁶/K)
微观结构观察:- 晶粒度评级:平均晶粒尺寸(≥3级)
- 缺陷分析:位错密度(≤10⁴/cm²)
表面特性检测:- 粗糙度:表面Ra值(≤1.0μm)
- 氧化层厚度:表层SiO₂(≤100nm)
机械性能检测:- 抗压强度:压缩强度(≥200MPa)
- 韧性测试:断裂韧性(≥1.0MPa·m¹/²)
光学性能检测:- 透光率:可见光透射(≥90%@550nm)
- 反射率:表面反射(≤10%)
检测范围
1.冶金级工业硅:用于铝硅合金生产,检测重点为铁、铝杂质含量控制及粒度均匀性
2.太阳能级硅:应用于光伏电池,侧重硼、磷杂质检测及电导率精度
3.电子级硅:用于半导体器件,核心检测金属杂质(如铜、镍≤0.1ppb)及晶格缺陷
4.硅粉材料:涵盖微米级粉末,重点检测粒径分布及表面污染物
5.硅锭产品:包括单晶/多晶硅锭,检测熔炼杂质残留及热学稳定性
6.硅合金材料:如硅铁合金,检测硅含量偏差及合金元素交互效应
7.硅基复合材料:用于涂层或填料,侧重结合强度及界面缺陷
8.再生硅材料:源自回收过程,检测重金属残留及纯度恢复度
9.硅晶圆片:用于芯片制造,检测表面平整度及晶向一致性
10.硅化工产品:如硅烷气体衍生品,检测挥发物含量及反应副产物
检测方法
国际标准:
- ISO 17025:2017 测试与校准实验室能力要求
- ASTM E1257-16 硅材料光谱分析法
- ISO 13320:2020 粒度分析激光衍射法
- ASTM F1392-00 硅片电学特性测定
国家标准:- GB/T 14849.1-2020 工业硅化学分析方法
- GB/T 20123-2006 硅材料电阻率测试
- GB/T 19077-2016 粒度分布激光法
- GB/T 4340.1-2009 金属维氏硬度试验
方法差异说明:GB标准在杂质检测限上较ISO严格(如硼检出限0.5ppm vs 1ppm),ASTM电导率测试采用四点探针法而GB优先使用涡流法,导致数据偏差±5%;ISO粒度分布要求氩气环境而GB允许空气条件。
检测设备
1.直读光谱仪:SPJianCeROMAXx型(检测范围0.001%-100%,分辨率0.1nm)
2.X射线荧光光谱仪:BRUKER S8 TIGER型(元素检测限达0.1ppm,管电压50kV)
3.激光粒度分析仪:MALVERN Mastersizer 3000型(粒径范围0.01-3500μm,精度±1%)
4.扫描电子显微镜:ZEISS EVO 18型(放大倍数10-1000000x,分辨率3nm)
5.维氏硬度计:WILSON VH1150型(载荷范围10-1000gf,精度±0.2%)
6.密度计:METTLER TOLEDO XS205型(测量范围0.001-100g/cm³,精度±0.0001g/cm³)
7.电导率测试仪:KEITHLEY 2450型(量程0.01-1000S/m,误差±0.5%)
8.高温熔炉:THERMO SCIENTIFIC F48000型(温度范围0-1600℃,控温精度±1℃)
9.金相显微镜:OLYMPUS BX53M型(放大倍数50-1000x,数码分辨率5MP)
10.热膨胀仪:NETZSCH DIL 402型(温度范围-150-1550℃,膨胀系数精度±0.05×10⁻⁶/K)
11.表面粗糙度仪:MITUTOYO SURFTEST SJ-410型(测量范围0.01-160μm,分辨率0.001μm)
12.四点探针电阻仪:JANDEL RM3000型(电阻率范围0.0001-100Ω·cm,误差±1%)
13.透射光谱仪:PERKINELMER LAMBDA 950型(波长范围190-3300nm,精度±0.08nm)
14.万能材料试验机:INSTRON 5967型(载荷范围0.5-30kN,应变速率0.001-1000mm/min)
15.气体色谱仪:AGILENT 8890型(检测限0.1ppb,分离效率≥95%)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。