检测项目
阳离子检测:
- 钠离子浓度:检测限≤0.5ppb(参照SEMIC35)
- 钾离子浓度:检测限≤1ppb(参照ISO17294)
- 铵离子浓度:范围0.1-10ppb
阴离子检测:- 氯离子含量:检测限≤0.3ppb(参照SEMIC36)
- 硫酸根离子:浓度≤1ppb(参照ASTMD5996)
- 硝酸根离子:精度±0.01ppm
重金属离子检测:- 铁离子残留:检测限≤0.1ppb(参照ISO11885)
- 铜离子含量:范围0.05-5ppb(参照GB/T32465)
- 锌离子浓度:检出限≥0.2ppb
卤素离子检测:- 氟离子含量:检测限≤0.2ppb(参照SEMIC37)
- 溴离子浓度:范围0.1-10ppb(参照ISO10304)
- 碘离子残留:精度±5%
硫化物检测:- 硫酸盐总量:检测限≤0.5ppb(参照ASTMD516)
- 亚硫酸根离子:浓度≤1ppb(参照GB/T5009)
- 硫代硫酸盐残留:范围0.01-1ppm
有机杂质检测:- 总有机碳含量:检测限≤10ppb(参照SEMIC40)
- 苯甲酸残留:浓度≤0.1ppm(参照ISO17257)
- 醛类化合物:精度±0.05ppm
水分含量检测:- 游离水含量:检测限≤50ppm(参照ASTME203)
- 结晶水残留:范围0.01-0.1%
- 湿度偏差:±2%
颗粒物检测:- 粒径分布:检测限≥0.1μm(参照ISO21501)
- 微粒数量:浓度≤100个/mL(参照SEMIC50)
- 不溶物残留:精度±0.5%
酸度检测:- pH值测定:范围4.0-7.0(参照GB/T9724)
- 总酸度:检测限≤0.01mol/L(参照ISO760)
- 缓冲容量:偏差±0.05
电导率测试:- 溶液电导率:测量范围0.01-100μS/cm(参照ASTMD1125)
- 离子迁移率:精度±0.1%
- 电阻率:检测限≥18MΩ·cm
检测范围
1.电子级PTA粉末:检测重点阳离子(钠钾)和阴离子(氯硫酸根)残留,确保原料纯度≥99.999%。
2.PTA水溶液制剂:聚焦重金属离子(铁铜)和有机杂质,用于半导体清洗液配制。
3.光刻胶稀释液:侧重卤素离子(氟溴)和硫化物检测,保证光刻工艺稳定性。
4.高纯化学品中间体:检测颗粒物和水含量,防止微污染在存储中累积。
5.半导体蚀刻液:重点酸度和电导率测试,确保腐蚀性能一致性。
6.电子级溶剂混合物:监测阴离子(硝酸根)和有机碳残留,用于器件封装。
7.PTA回收料:检测重金属离子和颗粒物,测试再利用率。
8.超纯水系统出水:侧重阳离子(铵)和电导率,验证系统净化效率。
9.微电子封装材料:聚焦硫化物和水分含量,防止器件氧化失效。
10.实验室标准样品:检测所有离子项目和酸度,用于校准和质控。
检测方法
国际标准:
- SEMIC35-1109电子化学品中碱金属离子测试方法
- ISO17294-2:2016水质-电感耦合等离子体质谱法检测金属离子
- ASTMD5996-16离子色谱法测定阴离子含量
- ISO10304-1:2022水质-离子色谱法测定溶解阴离子
- SEMIC40-0308总有机碳测试方法
国家标准:- GB/T32465-2015高纯化学品杂质离子测定通则
- GB/T9724-2007化学试剂pH值测定通则
- GB/T5009.44-2003食品中氯化物测定方法
- GB/T11896-1989水质氯化物测定硝酸银滴定法
- GB/T601-2016化学试剂标准滴定溶液制备方法
方法差异说明:ISO标准通常采用更低检测限(如ppb级),而GB标准更注重操作简便性;ASTM方法强调仪器校准精度,SEMI标准针对电子工业特定阈值。
检测设备
1.离子色谱仪:ThermoScientificICS-6000(检测限0.1ppb,流速范围0.1-5mL/min)
2.电感耦合等离子体质谱仪:PerkinElmerNexION350X(质量范围1-270amu,检出限0.01ppb)
3.原子吸收光谱仪:Agilent240Z(波长范围190-870nm,精度±0.5%)
4.离子选择性电极分析系统:Metrohm913pH/ISE(测量分辨率0.001pH,温度补偿0-100°C)
5.总有机碳分析仪:ShimadzuTOC-L(检测限1ppb,氧化温度680°C)
6.卡尔费休水分测定仪:Metrohm899Coulometer(精度0.1μg,范围0.001-100%)
7.激光粒度分析仪:MalvernMastersizer3000(粒径范围0.01-3500μm,重复性±0.5%)
8.精密pH计:MettlerToledoSevenExcellence(分辨率0.001pH,自动温度校正)
9.电导率仪:HachHQ440D(范围0.001-2000μS/cm,精度±0.5%)
10.紫外分光光度计:HitachiUH5300(波长范围190-1100nm,检出限0.001AU)
11.气相色谱仪:Agilent8890(载气纯度99.999%,检测限0.01ppm)
12.液相色谱仪:WatersAlliancee2695(流速精度±1%,压力范围0-6000psi)
13.自动滴定仪:Metrohm905Titrando(滴定精度0.1μL,终点判定±0.1%)
14.微波消解系统:CEMMars6(温度范围0-300°C,压力控制0-1500psi)
15.超纯水系统:MilliporeMilli-QIQ7000(产水电阻率18.2MΩ·cm,颗粒过滤≥0.1μm)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。