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电子级PTA微量离子测试

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关键字: 电子级PTA微量离子测试测试标准,电子级PTA微量离子测试测试机构,电子级PTA微量离子测试测试方法
发布时间:2025-06-14 17:18:30
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检测项目

阳离子检测:

  • 钠离子浓度:检测限≤0.5ppb(参照SEMIC35)
  • 钾离子浓度:检测限≤1ppb(参照ISO17294)
  • 铵离子浓度:范围0.1-10ppb
阴离子检测:
  • 氯离子含量:检测限≤0.3ppb(参照SEMIC36)
  • 硫酸根离子:浓度≤1ppb(参照ASTMD5996)
  • 硝酸根离子:精度±0.01ppm
重金属离子检测:
  • 铁离子残留:检测限≤0.1ppb(参照ISO11885)
  • 铜离子含量:范围0.05-5ppb(参照GB/T32465)
  • 锌离子浓度:检出限≥0.2ppb
卤素离子检测:
  • 氟离子含量:检测限≤0.2ppb(参照SEMIC37)
  • 溴离子浓度:范围0.1-10ppb(参照ISO10304)
  • 碘离子残留:精度±5%
硫化物检测:
  • 硫酸盐总量:检测限≤0.5ppb(参照ASTMD516)
  • 亚硫酸根离子:浓度≤1ppb(参照GB/T5009)
  • 硫代硫酸盐残留:范围0.01-1ppm
有机杂质检测:
  • 总有机碳含量:检测限≤10ppb(参照SEMIC40)
  • 苯甲酸残留:浓度≤0.1ppm(参照ISO17257)
  • 醛类化合物:精度±0.05ppm
水分含量检测:
  • 游离水含量:检测限≤50ppm(参照ASTME203)
  • 结晶水残留:范围0.01-0.1%
  • 湿度偏差:±2%
颗粒物检测:
  • 粒径分布:检测限≥0.1μm(参照ISO21501)
  • 微粒数量:浓度≤100个/mL(参照SEMIC50)
  • 不溶物残留:精度±0.5%
酸度检测:
  • pH值测定:范围4.0-7.0(参照GB/T9724)
  • 总酸度:检测限≤0.01mol/L(参照ISO760)
  • 缓冲容量:偏差±0.05
电导率测试:
  • 溶液电导率:测量范围0.01-100μS/cm(参照ASTMD1125)
  • 离子迁移率:精度±0.1%
  • 电阻率:检测限≥18MΩ·cm

检测范围

1.电子级PTA粉末:检测重点阳离子(钠钾)和阴离子(氯硫酸根)残留,确保原料纯度≥99.999%。

2.PTA水溶液制剂:聚焦重金属离子(铁铜)和有机杂质,用于半导体清洗液配制。

3.光刻胶稀释液:侧重卤素离子(氟溴)和硫化物检测,保证光刻工艺稳定性。

4.高纯化学品中间体:检测颗粒物和水含量,防止微污染在存储中累积。

5.半导体蚀刻液:重点酸度和电导率测试,确保腐蚀性能一致性。

6.电子级溶剂混合物:监测阴离子(硝酸根)和有机碳残留,用于器件封装。

7.PTA回收料:检测重金属离子和颗粒物,测试再利用率。

8.超纯水系统出水:侧重阳离子(铵)和电导率,验证系统净化效率。

9.微电子封装材料:聚焦硫化物和水分含量,防止器件氧化失效。

10.实验室标准样品:检测所有离子项目和酸度,用于校准和质控。

检测方法

国际标准:

  • SEMIC35-1109电子化学品中碱金属离子测试方法
  • ISO17294-2:2016水质-电感耦合等离子体质谱法检测金属离子
  • ASTMD5996-16离子色谱法测定阴离子含量
  • ISO10304-1:2022水质-离子色谱法测定溶解阴离子
  • SEMIC40-0308总有机碳测试方法
国家标准:
  • GB/T32465-2015高纯化学品杂质离子测定通则
  • GB/T9724-2007化学试剂pH值测定通则
  • GB/T5009.44-2003食品中氯化物测定方法
  • GB/T11896-1989水质氯化物测定硝酸银滴定法
  • GB/T601-2016化学试剂标准滴定溶液制备方法
方法差异说明:ISO标准通常采用更低检测限(如ppb级),而GB标准更注重操作简便性;ASTM方法强调仪器校准精度,SEMI标准针对电子工业特定阈值。

检测设备

1.离子色谱仪:ThermoScientificICS-6000(检测限0.1ppb,流速范围0.1-5mL/min)

2.电感耦合等离子体质谱仪:PerkinElmerNexION350X(质量范围1-270amu,检出限0.01ppb)

3.原子吸收光谱仪:Agilent240Z(波长范围190-870nm,精度±0.5%)

4.离子选择性电极分析系统:Metrohm913pH/ISE(测量分辨率0.001pH,温度补偿0-100°C)

5.总有机碳分析仪:ShimadzuTOC-L(检测限1ppb,氧化温度680°C)

6.卡尔费休水分测定仪:Metrohm899Coulometer(精度0.1μg,范围0.001-100%)

7.激光粒度分析仪:MalvernMastersizer3000(粒径范围0.01-3500μm,重复性±0.5%)

8.精密pH计:MettlerToledoSevenExcellence(分辨率0.001pH,自动温度校正)

9.电导率仪:HachHQ440D(范围0.001-2000μS/cm,精度±0.5%)

10.紫外分光光度计:HitachiUH5300(波长范围190-1100nm,检出限0.001AU)

11.气相色谱仪:Agilent8890(载气纯度99.999%,检测限0.01ppm)

12.液相色谱仪:WatersAlliancee2695(流速精度±1%,压力范围0-6000psi)

13.自动滴定仪:Metrohm905Titrando(滴定精度0.1μL,终点判定±0.1%)

14.微波消解系统:CEMMars6(温度范围0-300°C,压力控制0-1500psi)

15.超纯水系统:MilliporeMilli-QIQ7000(产水电阻率18.2MΩ·cm,颗粒过滤≥0.1μm)

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.

内容-荣誉资质

其他证书详情(可咨询在线工程师):

荣誉资质 国防经济发展促进会 AAA级信用证书

合作客户(部分)

1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;

2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;

3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;

4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。

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