电真空器件气密性氦检漏试验

检测项目

密封性能检测：

• 漏率测试：最大允许漏率≤1×10^{-9}Pa·m³/s（参照ISO3530）
• 压力保持能力：维持压力下降≤5%在24小时内
• 氦气浓度分析：检测限≤1×10^{-12}vol%（参照ASTME493）

• 氦气渗透率：≤1×10^{-10}cm³/s/cm²
• 材料强度：屈服强度≥355MPa（参照GB/T228.1）
• 热膨胀系数：偏差≤±5%

• 温度循环测试：范围-40°C至150°C，循环10次无泄漏
• 湿热测试：湿度95%RH，温度85°C，72小时无退化
• 真空稳定性：极限真空≤1×10^{-7}mbar

• 绝缘电阻：≥1000MΩ
• 击穿电压：≥15kV（参照IEC60068）
• 漏电流：≤1μA

• 振动频率：20-2000Hz，加速度10g
• 冲击测试：半正弦波，100g，11ms
• 疲劳寿命：循环次数≥10^6

• 盐雾测试：96小时无腐蚀（参照ISO9227）
• 气体腐蚀：暴露于H2S或SO2气体无退化
• 氧化测试：高温氧化增重≤0.1mg/cm²

• 加速老化：温度125°C，时间1000小时
• 使用模拟：等效运行10年无泄漏
• 失效模式分析：记录泄漏点位置及尺寸

• 表面粗糙度：Ra≤0.8μm
• 微裂纹检测：裂纹长度≤10μm
• 涂层厚度：偏差±5μm

• 材质成分：合金元素偏差±0.05wt%
• 杂质含量：总杂质≤0.01%
• 气体残留：O2或N2≤10ppm

• 抽气速率：≥50L/s
• 气体释放率：≤1×10^{-8}mbar·L/s/cm²
• 真空度恢复时间：≤5分钟

检测范围

1.微波真空管：包括磁控管和速调管，重点检测金属-陶瓷封接处气密性及高频泄露影响

2.X射线管：高压真空器件，侧重玻璃-金属密封泄漏检测和X射线窗口完整性

3.光电倍增管：光检测器件，检测真空保持性对暗电流和增益稳定性的影响

4.真空开关管：高压电器件，关注电弧作用下的密封失效和触点区域泄漏

5.真空电容器：高频应用组件，检测介质泄漏和温升导致的气密性变化

6.阴极射线管：显示器件，验证真空度下降对电子束聚焦和亮度的影响

7.真空继电器：密封开关器件，侧重触点密封泄漏和机械振动耐受性

8.真空镀膜设备组件：如钟罩和基板架，检测整体真空密封和污染泄漏

9.粒子加速器部件：高真空环境器件，聚焦微小泄漏对粒子束稳定性的影响

10.半导体真空腔体：制造过程容器，检测污染气体泄漏和密封材料兼容性

检测方法

国际标准：

• ISO3530真空技术-气泡法泄漏检测
• ASTME493使用质谱仪检测泄漏的标准方法
• IEC60068-2-14环境测试-温度变化
• MIL-STD-883微电子器件测试方法
• ISO9227盐雾腐蚀试验

• GB/T4982真空技术-气泡法泄漏检测方法
• GB/T12604.7无损检测术语-泄漏检测
• GB/T2423.3湿热试验方法
• GB/T228.1金属材料拉伸试验
• GB/T10125人造气氛腐蚀试验

检测设备

1.氦质谱检漏仪：ModelXYZ（灵敏度：1×10^{-12}mbar·L/s）

2.真空泵系统：ModelABC（抽速极限：1×10^{-6}mbar）

3.压力计：ModelDEF（测量范围：10^{-3}to10^3mbar）

4.温度控制箱：ModelGHI（温度范围：-70°Cto180°C）

5.振动试验台：ModelJKL（频率范围：5-5000Hz）

6.盐雾试验箱：ModelMNO（盐浓度：5%）

7.万能材料试验机：ModelPQR（最大载荷：100kN）

8.光谱分析仪：ModelSTU（波长范围：190-1100nm）

9.真空室：ModelVWX（容积：100L）

10.数据采集系统：ModelYZA（采样率：1MHz）

11.湿度控制箱：ModelBCD（湿度范围：10-98%RH）

12.冲击试验机：ModelEFG（冲击能量：100J）

13.气体分析仪：ModelHIJ（检测限：1ppm）

14.显微镜系统：ModelKLM（放大倍率：1000x）

15.泄漏标准器：ModelNOP（校准漏率：1×10^{-8}mbar·L/s）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.