半导体气体检测

检测项目

纯度检测：

• 总纯度分析：纯度≥99.9999%（参照SEMIC3.071）
• 杂质总量测定：非挥发残留物≤0.1mg/m³

• 露点测试：露点≤-76℃（参照ASTMDJianCe2）
• 水分含量：H₂O≤1ppb

• 氧杂质分析：O₂≤0.1ppm
• 氮氧复合物：NOx≤0.01ppm

• 总烃含量：THC≤0.1ppm
• 甲烷测定：CH₄≤0.05ppm

• 颗粒浓度：粒径＞0.1μm颗粒数＜100个/m³
• 粒径分布：D50值测定（参照ISO21501）

• 砷烷泄漏：AsH₃≤0.1ppm（检测限0.01ppm）
• 磷烷浓度：PH₃≤0.05ppm

• 氯化氢腐蚀率：腐蚀损失≤0.1mg/cm²
• 硫化氢反应性：H₂S≤0.05ppm

• 密度偏差：±0.1%相对值
• 粘度测定：动态粘度范围0.01-10cP

• 气体分解率：分解产物≤0.01%
• 储存寿命测试：稳定性≥12个月

• 材料相容性：无腐蚀或沉积（参照SEMIF57）
• 管路污染测试：残留物≤0.001mg

检测范围

1.高纯氢气：纯度≥99.9999%，重点检测水分和氧杂质以防晶圆氧化

2.特种蚀刻气体：如氯化氢、硫化氢，侧重腐蚀性测试和毒性泄漏监控

3.惰性工艺气体：氩气、氮气，核心检测颗粒物浓度和烃类杂质

4.掺杂气体：磷烷、砷烷，专注毒性气体含量和稳定性验证

5.沉积气体：硅烷、四氟化硅，重点分析纯度和分解产物

6.清洗气体：氧气、三氟化氮，检测腐蚀性和残留微粒

7.反应气体：氨气、一氧化氮，侧重兼容性测试和反应副产物

8.缓冲气体：氦气、氖气，核心验证密度偏差和物理特性

9.载气：氢气、氩气混合，重点检测杂质总量和稳定性

10.回收气体：包括再循环工艺气体，检测重点为污染残留和兼容性

检测方法

国际标准：

• SEMIC3.071气体纯度测试方法
• ASTMD1945气相色谱法测定气体组分
• ISO8573-1压缩空气颗粒物计数
• ISO6142气体标准样品制备
• SEMIF57气体输送系统兼容性测试

• GB/T3863工业氮气检测方法
• GB/T36214高纯气体杂质测试通则
• GB/T5274气体分析采样方法
• GB/T14850电子工业用气体检测
• GB/T34236特种气体安全规范

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890型（检测限0.1ppb，温度范围-50°C至450°C）

2.质谱分析仪：ThermoScientificISQ7000（质量范围1-1000amu，分辨率0.1amu）

3.激光粒子计数器：PMSLAS-316X（粒径检测0.1-10μm，流量2.83L/min）

4.露点仪：MichellS8000（范围-100°C至20°C，精度±0.1°C）

5.傅里叶变换红外光谱仪：PerkinElmerSpectrumTwo（波长范围7800-350cm⁻¹，检测限0.01ppm）

6.电化学传感器：AlphasenseO2-A2（氧检测范围0-25%，响应时间＜15s）

7.紫外荧光分析仪：TeledyneAPIT100（硫化合物检测限0.1ppb，波长190-600nm）

8.化学发光检测器：EcotechSerinus60（NOx检测限0.5ppb，量程0-1000ppm）

9.密度计：AntonPaarDMA4500M（密度范围0-3g/cm³，精度0.0001g/cm³）

10.粘度计：BrookfieldDV2T（粘度范围1-107cP，剪切率0.01-1000s⁻¹）

11.气体采样系统：EntegrisG-Vent（流量控制0.1-10L/min，材质316L不锈钢）

12.泄漏检测仪：InficonHAPSITE（检测限0.1ppm，响应时间＜2s）

13.稳定性测试腔：EspecSH-641（温度范围-40°C至150°C，湿度控制10-95%）

14.腐蚀测试仪：GamryInterface1010E（腐蚀速率测量精度±1%，电位范围±10V）

15.兼容性测试台：SwagelokVCR系统（压力范围0-100bar，材料兼容测试接口）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.