检测项目
吸附力学特性：
- 静电吸附力：10-1000μN测量精度（IEC61340-4-1）
- 临界脱离电压：直流1-30kV（ASTMD257）
粒径分布测试：- 微粒粒径分布：0.1-100μm分段统计（ISO16232-7）
- 最大吸附粒径：＞50μm标识（SEM观测法）
污染物成分分析：- 无机元素含量：Na/K/Ca/Fe等≤1ppm（GB/T32433）
- 有机污染物：TVOC≤5μg/cm²（ASTME1559）
表面电荷特性：- 表面电位衰减：5000V→100V所需时间（IEC61340-5-1）
- 电荷密度：±50nC/cm²分辨率（NFC20-540）
吸附稳定性测试：- 振动脱离率：10-2000Hz正弦扫频（MIL-STD-883）
- 温湿度循环残留：40℃/93%RH×48h（IEC60068-2-30）
环境模拟测试：- 洁净室吸附模拟：ISOClass1环境下增量吸附（ISO14644-1）
- 电场干扰吸附：10kV/m静电场吸附量（ANSI/ESDS20.20）
材料静电特性：- 表面电阻：10^6-10^12Ω（GB/T1410）
- 静电衰减时间：＜2.0s（ESDSTM11.11）
清洁度测试：- 微粒总数：＞0.5μm颗粒≤50个/cm²（VDA19.1）
- 离子污染度：NaCl当量≤1.56μg/cm²（IPCTM-650）
动态吸附测试：- 气流剥离效率：风速0.5-10m/s可调（ISO15900）
- 旋转离心脱离：500-10000rpm临界转速（ASTMF50）
微观形貌分析：- 吸附界面形貌：SEM5nm分辨率（ISO21363）
- 污染物三维分布：CLSM共聚焦成像（ISO25178）
检测范围
1.半导体晶圆：检测硅片表面的金属离子吸附及0.1μm级微粒分布，重点控制铜/锌离子≤0.01ng/cm²
2.光学镜片：针对AR镀膜层静电吸附有机挥发物，监控C/H/O元素总量≤3μg/cm²
3.显示面板：检测ITO玻璃基板静电吸附粉尘，控制＞5μm颗粒密度≤5个/m²
4.医疗器械：手术器械表面生物微粒吸附检测，要求内毒素吸附≤0.25EU/cm²
5.航天器材料：空间环境模拟舱内分子污染物吸附量，TQCM检测精度0.1ng/cm²
6.静电防护材料：测试ESD包装材料吸附转移污染，表面电位≤±100V
7.包装材料：检测药用铝箔吸附微粒穿透性，符合USP<788>≥10μm颗粒限值
8.精密机械零件：轴承钢部件表面油雾吸附量，FTIR检测矿物油≤2mg/m²
9.纳米材料：碳纳米管束静电团聚率检测，SEM统计团聚体占比≤5%
10.生物材料：植入器械蛋白质非特异性吸附，BCA法检测≤0.1μg/cm²
检测方法
国际标准：
- IEC61340-4-1标准试验方法-表面电阻测量
- ISO14644-1洁净室及相关受控环境-微粒浓度分级
- ASTMF312-08微电子器件表面微粒检测规程
- JISB9929激光粒子计数器校准规范
国家标准：- GB/T32362-2015表面化学分析-荷电控制与校正
- GB/T32873-2016电子电气产品表面洁净度分级
- SJ/T11638-2016晶圆表面微粒测试方法
- HJ759-2015环境空气颗粒物采样技术要求
国际标准普遍采用四点探针法测电阻（如IEC61340），而国标GB/T32362推荐使用非接触式振动电容法；ISO14644规定≥0.1μm微粒采用光学粒子计数，而SJ/T11638要求配合SEM进行形貌验证。
检测设备
1.静电力测试仪：TRACKER3D（测量范围±20kV，分辨率1μN）
2.激光粒度分析仪：LS-POP(9)（检测粒径0.04-2500μm，重复性误差≤1%）
3.飞行时间质谱仪：TOFWERKVocusCI-TOF（质量分辨率＞12000，检测限0.1ppt）
4.扫描电镜-能谱仪：ZEISSGeminiSEM500（分辨率0.8nm@15kV，元素检测B-U）
5.表面电位计：TREK347-3（量程±20kV，响应时间＜1s）
6.振动样品磁强计：LDIVSM3500（磁场强度3T，灵敏度10-6emu）
7.石英晶体微天平：QSenseExplorer（质量分辨率0.1ng/cm²，温控±0.02℃）
8.傅里叶红外光谱仪：NicoletiN10（光谱范围7800-350cm-1，空间分辨率3μm）
9.共聚焦显微镜：OlympusOLS5000（Z轴分辨率1nm，最大扫描80mm）
10.洁净室监测系统：PMSLasairIII（0.1-5μm通道，流量28.3L/min）
11.离子色谱仪：ThermoICS-6000（阴离子检测限0.1ppb，阳离子0.5ppb）
12.热脱附分析仪：MarkesTD-100（脱附温度50-400℃，捕集阱冷却-30℃）
13.离心式吸附模拟器：HettichROTOFIX（转速100-15000rpm，温度范围-20-60℃）
14.等离子清洗机：DienerPico（RF功率100W，真空度＜0.3mbar）
15.静电放电模拟器：EMTESTDito2000（接触放电30kV，空气放电32kV）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作，并获得众多好评；
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领；
3、坚持科学发展道路，统筹实验建设与技术人才培养共同发展；
4、学习贯彻人大精神，努力发展自身科技实力。
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