电子气体杂质分析

检测项目

水分检测：

• 露点温度：测量值≤-70°C（参照ISO8573-3）
• 水分含量：浓度≤0.1ppb（ASTMDJianCe2）

• 氧含量：浓度≤5ppb（SEMIF121）
• 氧气残留率：波动范围±0.5ppb

• 总碳氢：浓度≤0.1ppb（ISO14687）
• 甲烷含量：检测限≤0.05ppb

• 颗粒计数：粒径≥0.1μm（≤1个/升，参照ISO14644）
• 颗粒分布：尺寸范围0.1-10μm

• 重金属离子：铁、铜≤0.01ppb（GB/T31984）
• 碱金属离子：钠、钾≤0.02ppb

• 细菌总数：≤1CFU/m³（ISO14698）
• 真菌残留：浓度≤0.5CFU/m³

• 非甲烷总烃：浓度≤0.3ppb
• 杂质总量：综合值≤1ppb

• 气体稳定性：时间衰减率≤1%/h
• 压力波动：范围±0.5%

• 腐蚀速率：≤0.001mm/年（ASTMG31）
• 酸碱度：pH值6.5-7.5

• 纯度等级：≥99.9999%（SEMIC3.30）
• 杂质综合指数：综合评分≤5

检测范围

1.高纯氩气：用于半导体沉积工艺，重点检测氧气残留和颗粒物，确保无光刻缺陷

2.高纯氮气：应用在清洗工序，侧重水分含量和碳氢化合物，防止器件氧化

3.硅烷气体：用于CVD涂层，检测金属离子和颗粒物，避免硅晶污染

4.氨水气体：涉及刻蚀过程，重点分析微生物和腐蚀性，确保化学稳定性

5.氟化氢气体：用于蚀刻晶圆，检测水分和总杂质，防止反应失控

6.三氟化氮气体：应用在等离子清洗，侧重氧气和颗粒计数，保证腔体清洁

7.氦气载体：用于色谱仪器，检测纯度和稳定性，避免基线漂移

8.氧硫化碳气体：涉及光刻胶处理，重点分析碳氢化合物和金属离子

9.氯气处理气体：用于消毒工艺，检测腐蚀性和微生物残留

10.溴化氢气体：应用在掺杂工序，侧重杂质总量和稳定性

检测方法

国际标准：

• ISO8573-3:2022压缩空气水分含量测量
• ASTMDJianCe2-21露点温度试验方法
• SEMIF121-0320电子气体氧含量检测
• ISO14687:2019氢燃料杂质分析
• ISO14644-1:2015洁净室颗粒计数
• ASTMG31-21金属腐蚀速率测试
• ISO14698-1:2003生物污染控制

• GB/T31984-2015电子气体金属离子检测
• GB/TJianCe46.7-2013电子级水杂质分析
• GB/T10248-2005气体纯度测定方法
• GB/T23976-2022电子特种气体检测
• GB/T24994-2010电子气体采样规范
• GB/T25979-2010气体腐蚀性试验
• GB/T34710-2017微生物污染检测

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890型（检测限≤0.01ppb，分辨率0.001%）

2.质谱仪：ThermoScientificISQ7000型（质量范围1-1000amu，精度±0.1%）

3.激光颗粒计数器：PMSLAS-XII型（粒径范围0.1-10μm，计数精度99%）

4.露点仪：MichellS8000型（测量范围-100°C至20°C，误差±0.1°C）

5.离子色谱仪：DionexICS-5000+型（离子检测限≤0.005ppb）

6.原子吸收光谱仪：PerkinElmerPinAAcle900T型（波长范围190-900nm，灵敏度0.001ppb）

7.微生物分析仪：BiologGENIII型（检测限≤1CFU，培养时间24h）

8.腐蚀性测试仪：GamryInterface1010E型（电流范围±1A，精度0.1%）

9.稳定性测试台：MKS247C型（压力控制0-100bar，波动≤0.1%）

10.纯度分析仪：SiemensMaxumII型（纯度测量99.9999%，响应时间<1s）

11.总碳氢分析仪：HoribaFIA-3100型（检测限≤0.05ppb）

12.氧分析仪：Servomex4100型（范围0-1000ppb，精度±0.5ppb）

13.水分分析仪：GEM50型（测量精度±0.1ppb）

14.光谱分析仪：OceanInsightHDX型（波长覆盖200-2500nm）

15.气体采样器：SKCAirChekXR5000型（流速0.1-5L/min）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

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