半导体工艺氮气测试

检测项目

纯度检测：

• 气体纯度：纯度≥99.9999%（ISO8573-1）
• 杂质总量：总杂质含量≤1ppb（ASTMD6350）

• 露点测试：露点≤-76℃（ISO8573-3）
• 水分含量：水分浓度≤0.1ppm（GB/T5832.1-2016）

• 氧浓度：氧含量≤10ppb（ISO19229）
• 残余氧分析：氧偏差值±0.5%（ASTMF1372）

• 总烃含量：总烃≤0.1ppm（ISO8573-2）
• 甲烷测定：甲烷浓度≤0.05ppm（GB/T8984-2008）

• 颗粒计数：≥0.1μm颗粒数≤1个/L（ISO14644-1）
• 固体残留：残留物质量≤0.01mg/m³（ASTMD7614）

• 流速精度：流速稳定性±1%（ISO5167）
• 压力测试：压力波动≤0.02MPa（GB/T1226-2017）

• 反应性气体：无硫化物/卤素（ISO10156）
• 兼容性验证：无化学反应（ASTMG71）

• 重金属含量：铅/镍≤1ppb（ISO17294）
• 金属杂质：铁/铜≤0.5ppb（GB/T20123-2006）

• 无菌测试：微生物总数≤1CFU/m³（ISO14698-1）
• 生物负荷：无活性孢子（ASTME2315）

• 流速校准：流量计偏差±0.5%（ISO17089）
• 压力特性：出口压力范围0.1-1.0MPa（GB/T12242-2005）

检测范围

1.超高纯氮气（纯度≥99.9999%）：用于光刻工艺，重点检测微粒浓度及水分露点，确保无颗粒污染影响曝光精度。

2.电子级氮气（纯度≥99.999%）：应用于蚀刻工艺，侧重氧含量和烃类杂质检测，防止氧化反应导致电路缺陷。

3.封装级氮气（纯度≥99.99%）：用于芯片封装环节，检测重金属残留及化学稳定性，避免金属离子迁移影响可靠性。

4.沉积工艺氮气（纯度≥99.999%）：适用于化学气相沉积（CVD），重点监控流量精度和微粒含量，保障薄膜均匀性。

5.洁净室吹扫氮气（纯度≥99.999%）：用于环境控制，检测微生物负荷及氧含量，确保无生物污染影响洁净度。

6.退火工艺氮气（纯度≥99.999%）：应用于热处理环节，侧重水分和烃类检测，防止高温下杂质反应导致晶格缺陷。

7.离子注入辅助氮气（纯度≥99.999%）：用于离子束工艺，重点检测重金属及微粒，避免注入杂质影响掺杂效率。

8.蚀刻腔体吹扫氮气（纯度≥99.99%）：应用于腔体清洁，监控化学稳定性和压力特性，确保无残留腐蚀设备。

9.晶圆存储氮气（纯度≥99.999%）：用于存储环境，检测微生物及露点，防止湿气氧化导致表面退化。

10.焊接保护氮气（纯度≥99.99%）：应用于封装焊接，侧重氧含量和流量精度，避免氧化影响焊接强度。

检测方法

国际标准：

• ISO8573-1:2010压缩空气纯度等级划分（测量范围0.1-100ppb）
• ISO19229:2019气体纯度分析准则（检测限0.01ppb）
• ASTMD6350-14气体中痕量杂质测试（精度±0.5%）
• ASTMF1372-93(2018)电子级气体氧含量测定（与ISO方法速率差异）
• ISO14644-1:2015洁净室微粒计数（粒径≥0.1μm）

• GB/T5832.1-2016气体中水分测定电解法（露点检测范围-80°C）
• GB/T8984-2008气体中烃类测定气相色谱法（检测限0.01ppm）
• GB/T12242-2005压力容器安全阀性能试验（压力波动±0.01MPa）
• GB/T20123-2006钢铁中金属元素测定（与ASTM重金属检测浓度偏差）
• GB/T1226-2017流量计校准规范（流速误差校正差异）

检测设备

1.气相色谱仪：Agilent8890型（检测限0.001ppm，分辨率0.01ppb）

2.露点仪：MichellS8000系列（范围-100°C至+20°C，精度±0.1°C）

3.质谱仪：ThermoScientificISQ7000（质量范围1-1000amu，灵敏度0.1ppb）

4.粒子计数器：LighthouseSolair3100（粒径0.1-5μm，计数率≤1个/L）

5.流量校准器：BrooksSLA5850（流量范围0.01-100L/min，误差±0.5%）

6.压力测试仪：WIKACPH6300（压力范围0-2MPa，精度±0.02%）

7.水分分析仪：GEMBW373（露点检测-80°C，响应时间<30s）

8.烃类检测器：PhotovacMicroFID（烃类检测限0.01ppm，动态范围0-100ppm）

9.重金属分析仪：PerkinElmerNexION350D（元素检测限0.1ppb，多元素同时分析）

10.微生物采样器：SartoriusMD8Airscan（采样流速100L/min，检测限1CFU/m³）

11.气体纯度分析仪：VICIValcoGPro500（纯度检测99.9999%，精度±0.0001%）

12.流速计：SierraInstrumentsSmartTrak100（流量范围0.5-500SLPM，线性度±0.25%）

13.氧分析仪：SystechIllinoisEC910（氧检测范围0-1000ppb，响应时间<5s）

14.化学稳定性测试仪：Metrohm918Ti-Touch（兼容气体测试，温度范围-40°C至+150°C）

15.压力稳定性装置：DruckDPI620（压力控制精度±0.005MPa，量程0-1.5MPa）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.