检测项目
过滤效率测试:
- HEPA过滤器效率:过滤效率≥99.97%for0.3μmparticles(参照ISO14644-3)
- JianCePA过滤器效率:过滤效率≥99.9995%for0.12μmparticles(参照IEST-RP-CC001)
- 初始效率衰减:效率衰减率≤5%after1000hoperation
粒子计数检测:- 粒子浓度:粒子数≤1000counts/m³forClass5(参照ISO14644-1)
- 粒子尺寸分布:0.1-5μm范围粒子占比分析
- 背景粒子干扰:本底噪声≤10counts/m³
风速测试:- 平均风速:0.45m/s±20%tolerance
- 风速均匀性:偏差≤±15%acrosssurface
- 湍流强度:湍流系数≤0.25
泄漏测试:- 过滤器泄漏率:泄漏率≤0.01%atMPPS
- 密封完整性:气密性压力差≥50Pahold
- 边框扫描泄漏:最大允许泄漏点≤3points
气流分布测试:- 气流方向一致性:单向流角度偏差≤5°
- 回流区检测:回流面积≤5%totalarea
- 气流速度梯度:梯度变化≤10%permeter
温湿度控制测试:- 温度稳定性:±1°Cvariationover24h
- 湿度稳定性:±5%RHvariationover24h
- 温湿度交互影响:变化率≤0.5%per°C
噪音测试:- 声压级:≤65dB(A)at1mdistance
- 频谱分析:峰值频率偏移≤10Hz
- 背景噪音补偿:校准误差±0.5dB
过滤器完整性测试:- 扫描测试:缺陷点≤10pointsperm²
- 压降监测:初始压降≤250Pa
- 纤维脱落率:脱落粒子≤100counts/m³
压降测试:- 初始压降:≤300PaforJianCePAfilters
- 终阻力:阻力增加≤50%overlifetime
- 流量-压降曲线:线性拟合R²≥0.98
化学污染物检测:- VOC浓度:总VOC≤100ppb
- AMC检测:酸碱性气体≤1μg/m³
- 微粒吸附率:吸附效率≥90%fororganics
检测范围
1.HEPA过滤器:适用于Class5-8洁净室,检测重点为过滤效率和泄漏率,确保粒子去除率达标
2.JianCePA过滤器:用于Class1-4高洁净环境,侧重0.1μm粒子过滤效率和完整性扫描
3.洁净室墙面材料:包括彩钢板和环氧涂层,检测表面粒子沉降率和防静电性能
4.天花板系统:FFU集成天花板,重点检测气流分布均匀性和噪音水平
5.地板材料:高架地板和抗静电PVC,检测粒子产生率和电阻值≤10^6Ω
6.空气处理单元:AHU和MAU系统,检测整体过滤效率和温湿度控制稳定性
7.风机过滤器单元:FFU模块,关注风速一致性和压降特性
8.传递窗:物料传递设备,检测粒子隔离效率和气闸密封性
9.人员防护装备:洁净服和手套,检测粒子渗透率和纤维脱落
10.工具和设备:半导体制造工具,检测运行中粒子产生率和化学排放
检测方法
国际标准:
- ISO14644-3:2019洁净室及相关受控环境粒子检测方法
- ISO29463-1:2017HEPA/JianCePA过滤器测试标准
- IEST-RP-CC034.1过滤器泄漏测试推荐规程
- ISO14698-1:2003生物污染控制标准
国家标准:- GB/T25915.3-2021洁净室及相关受控环境粒子浓度检测
- GB/T16292-2010医药工业洁净室悬浮粒子测试方法
- GB/T18801-2015空气净化器性能测试
- GB/T18204.1-2013公共场所风速测定方法
方法差异说明:国际标准ISO14644使用离散粒子计数器法,而国家标准GB/T25915采用连续监测协议;泄漏测试中,ISO要求扫描速度0.05m/s,GB/T指定0.1m/s;粒子尺寸分类ISO以0.1μm起始,GB/T扩展至0.3μm基础检测
检测设备
1.激光粒子计数器:TSI9306-V3型(检测范围0.1-10μm,精度±5%)
2.风速计:Testo425型(量程0-20m/s,分辨率0.01m/s)
3.压差计:Dwyer477AV型(量程0-500Pa,精度±0.5%)
4.泄漏测试仪:ATIQ100型(扫描速度0.05m/s,灵敏度0.01%)
5.气流可视化设备:DantecDynamics系统(烟雾发生速率0.5L/min)
6.温湿度记录仪:RotronicHC2A-S型(温度范围-40-85°C,湿度范围0-100%RH)
7.声级计:Bruel&Kjaer2250型(范围30-130dB,加权A计权)
8.过滤器测试台:PALASMFP3000型(流量范围10-5000m³/h)
9.VOC检测器:PIDppbRAE3000型(检测限1ppb,范围0-10000ppb)
10.AMC分析仪:IonScienceTiger型(特异性检测酸/碱气体)
11.电阻测试仪:TrekModel152-1型(量程10^3-10^12Ω)
12.粒子发生器:TSI8026型(输出浓度10^6-10^9particles/m³)
13.数据采集系统:NationalInstrumentscDAQ-9188型(采样率100kHz)
14.光谱分析仪:Agilent4300型(波长范围190-1100nm)
15.气溶胶光度计:ATITDA-5H型(灵敏度0.0001μg/m³)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自创办以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。