检测项目
电学性能检测:
- 介电常数测试:εr(1kHz~1MHz)、损耗角正切tanδ≤0.01(参照IEC61189-3)
- 压电系数测量:d33≥8pC/N、g33系数(GB/T11309)
- 电阻率分析:ρ≥10¹²Ω·cm(常温)
光学性能检测:
- 折射率测定:n_o、n_e值(波长632.8nm)
- 光学均匀性测试:Δn≤5×10⁻⁶(参照ISO10110-4)
- 透射光谱分析:波段400nm~5000nm(透射率≥90%)
结构特性检测:
- 晶体取向鉴定:取向偏差≤0.1°(XRD法)
- 晶格常数测量:a轴、c轴值(参照ASTMF2024)
- 缺陷密度分析:位错密度≤10³cm⁻²(GB/T13301)
热学性能检测:
- 居里温度测试:Tc≥650°C(DSC法)
- 热膨胀系数:α≤10×10⁻⁶/K(GB/T4339)
- 热导率测定:κ≥3W/(m·K)(激光闪射法)
化学成分检测:
- 元素含量分析:Li/Ta摩尔比(1.00±0.02)、杂质Fe≤10ppm(参照ISO21084)
- 氧空位测试:氧化学计量比(O/LiTaO₃偏差≤0.5%)
机械性能检测:
- 硬度测试:维氏硬度HV≥800(载荷100g)
- 抗弯强度:σ≥100MPa(三点弯曲法,GB/T6569)
表面特性检测:
- 表面粗糙度:Ra≤0.1μm(AFM法)
- 膜厚均匀性:厚度偏差≤±2%(干涉测量)
压电性能检测:
- 机电耦合系数:kₜ≥0.4(谐振法)
- 频率温度系数:TCF≤±10ppm/°C(IEC60484)
缺陷分析检测:
- 微裂纹检测:裂纹长度≤5μm(SEM法)
- 夹杂物评级:等级≤A级(参照ASTME45)
应用性能检测:
- 声波传播测试:插入损耗≤1dB(SAW器件)
- 电光调制效率:半波电压Vπ≤10kV(光学器件)
检测范围
1.单晶钽酸锂衬底:检测重点包括晶体取向精度、表面缺陷密度及电学均匀性,确保晶圆级应用稳定性。
2.钽酸锂薄膜材料:侧重膜厚一致性、界面粘附力及光学透射率,用于集成光学器件制造。
3.压电传感器元件:核心检测压电系数稳定性和温度依赖性,保障高频响应性能。
4.光学波导器件:聚焦折射率均匀性和波导损耗,优化光通信模块效率。
5.声表面波滤波器:重点测试机电耦合系数和频率漂移,满足射频通信标准。
6.掺杂钽酸锂晶体:检测掺杂元素分布(如Mg、Zn)及缺陷抑制效果,提升材料功能性。
7.合成钽酸锂粉末:侧重纯度分析和颗粒尺寸分布(D50≤5μm),用于陶瓷烧结工艺。
8.钽酸锂陶瓷基板:检测热膨胀匹配性和介电损耗,适应高温环境应用。
9.钽酸锂基复合材料:测试界面结合强度和电学兼容性,用于多相结构器件。
10.定制光学元件:聚焦光学均匀性和表面粗糙度,确保激光系统性能。
检测方法
国际标准:
- IEC61189-3电子材料介电性能测试方法
- ISO10110-4光学材料均匀性测试规范
- ASTMF2024晶体结构X射线衍射分析法
- ISO21084无机材料化学成分光谱检测
- IEC60484压电材料温度系数测量
国家标准:
- GB/T11309压电晶体参数测试方法
- GB/T4339材料热膨胀系数测定
- GB/T6569陶瓷材料弯曲强度试验
- GB/T13301晶体缺陷密度检测规程
- GB/T228.1材料力学性能通用试验(用于硬度测试)
方法差异说明:国际标准如ISO10110-4要求全波段扫描,而GB/T11309仅限特定波长;ASTMF2024采用高分辨率XRD,GB/T13301使用SEM法在缺陷评级上精度较低;IEC61189-3规定宽频测试,GB等效标准侧重固定频率点。
检测设备
1.X射线衍射仪:RigakuSmartLab(分辨率0.001°,CuKα辐射)
2.阻抗分析仪:KeysightE4990A(频率范围20Hz-120MHz,精度±0.1%)
3.扫描电子显微镜:HitachiSU8010(放大倍数30万倍,分辨率1nm)
4.原子力显微镜:BrukerDimensionIcon(扫描范围100μm,分辨率0.1nm)
5.分光光度计:PerkinElmerLambda1050(波长范围190nm-3300nm,精度±0.1nm)
6.热分析仪:NetzschDSC214(温度范围-150°C-700°C,灵敏度0.1μW)
7.压电系数测试仪:SinoceraYE2730A(d33测量范围1-2000pC/N,精度±2%)
8.激光干涉仪:ZygoNewView9000(表面粗糙度检测限0.01nm)
9.万能材料试验机:Instron5967(载荷范围0.02kN-50kN,精度±0.5%)
10.光谱分析仪:ThermoScientificiCAP7400(元素检测限0.1ppm,动态范围106)
11.高温热膨胀仪:LinseisDIL802(温度上限1600°C,膨胀率精度±0.1%)
12.谐振频率分析仪:Agilent4294A(频率范围40Hz-110MHz,Q因子测量)
13.光学均匀性测试台:TriopticsOptiSpheric(波前误差检测λ/20)
14.薄膜厚度测量仪:FilmetricsF40(厚度范围10nm-3mm,精度±1nm)
15.缺陷检测系统:OlympusMX63(自动成像,缺陷识别尺寸
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).
CMA/CNAS等证书详情,因时间等不可抗拒因素会发生变更,请咨询在线工程师.
合作客户(部分)
1、自改制以来和政、企、军多方多次合作,并获得众多好评;
2、始终以"助力科学进步、推动社会发展"作为研究院纲领;
3、坚持科学发展道路,统筹实验建设与技术人才培养共同发展;
4、学习贯彻人大精神,努力发展自身科技实力。