碳化硅化学可靠性测试

检测项目

1.耐酸性能：酸浸后质量变化，表面腐蚀程度，厚度变化，边缘损伤，电参数漂移。

2.耐碱性能：碱液暴露后表面粗糙度变化，腐蚀速率，质量损失，膜层完整性，结构稳定性。

3.耐盐雾性能：盐雾作用后表面沉积物，腐蚀斑点，金属化层变化，绝缘性能变化，外观缺陷。

4.耐湿热化学稳定性：湿热环境下离子迁移，表面氧化，绝缘电阻变化，界面失效，电性能保持率。

5.耐溶剂性能：清洗溶剂接触后表面溶胀，残留析出，标识附着变化，封装材料稳定性，粘接界面变化。

6.抗氧化腐蚀性能：氧化介质作用后氧化层增厚，颜色变化，表面裂纹，微区腐蚀，导电特性变化。

7.离子污染检测：可溶性离子残留，表面污染水平，腐蚀诱发风险，清洁度评价，污染分布特征。

8.金属化层化学可靠性：电极腐蚀，附着力变化，接触电阻变化，界面剥离，金属扩散迹象。

9.钝化层耐化学介质性能：钝化层针孔，膜层开裂，介质渗透，厚度变化，保护能力衰减。

10.封装材料耐化学性能：塑封体腐蚀，灌封材料失重，界面脱层，引线区域腐蚀，外壳表面变化。

11.高温化学稳定性：高温介质中材料失重，晶面变化，表面反应产物，结构完整性，性能衰减。

12.清洗工艺兼容性：清洗后残留物，表面损伤，电极变色，焊接区域活性变化，外观一致性。

检测范围

碳化硅粉体、碳化硅陶瓷、碳化硅单晶、碳化硅外延片、碳化硅晶圆、碳化硅衬底、碳化硅芯片、碳化硅二极管、碳化硅晶体管、碳化硅功率模块、碳化硅封装器件、碳化硅电极片、碳化硅金属化样品、碳化硅钝化样品、碳化硅基板、碳化硅结构件

检测设备

1.恒温恒湿试验箱：用于模拟湿热环境下的化学稳定性变化，测试材料与器件在高湿条件中的可靠性。

2.盐雾试验箱：用于开展盐雾腐蚀暴露试验，观察表面腐蚀、镀层变化及界面失效情况。

3.高温试验炉：用于提供稳定高温环境，考察碳化硅样品在热化学条件下的结构与性能变化。

4.电子显微镜：用于观察表面形貌、腐蚀坑、裂纹、颗粒附着及微观损伤特征。

5.表面轮廓仪：用于测量表面粗糙度、腐蚀深度、台阶高度和局部形貌变化。

6.电参数测试仪：用于检测耐压、漏电流、电阻及相关电性能参数的变化情况。

7.离子污染分析仪：用于测定样品表面的可溶性离子残留水平，评价清洁度与腐蚀风险。

8.光谱分析仪：用于分析表面元素组成及化学状态变化，辅助判断腐蚀产物与污染来源。

9.附着力测试仪：用于评价金属化层、钝化层及涂覆层在化学作用后的结合强度变化。

10.精密天平：用于测量样品试验前后的质量变化，判断腐蚀失重、吸附增重及介质作用程度。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.